六款全新一维MEMS振镜模组赋能工业和消费电子

封测车间

感测通

感测通MEMS振镜模组通过不同的镜面尺寸扩展新的一维系列产品，可被激光雷达、工业机器人等行业和从事干系技能产品研发的公司、研究机构和大专院校等采取。

根据感测通发布的信息，在光学扫描系统中MEMS振镜相较于传统机器振镜有着如下上风：

MEMS材料单晶硅，不会疲倦，极限应力内拥有无限利用寿命；千摄氏度下没有塑性形变，不存在机器装置间隙位移或磨损，重复精度极高且稳定；弹性形变，平滑无极运动，高精度掌握可带来高精度分辨率；半导体流片，芯片级封装，测控一体集成，体积小，可靠稳定。

苏州感测通信息科技有限公司的芯片团队，两年内研发出了一系列的MEMS振镜模组产品。

该系列MEMS振镜产品经历了导远车规级测试中央严苛的可靠性测试。
各种类模组内测冲击均通过了1000G，3方向扫频振动均通过15G，85高温老化均通过1000h测试，表现正常。

从左至右：模组冲击测试、模组扫频振动测试、高温老化测试

该系列二维振镜模组可进行光栅扫描。
精度高，体积小，角度大。

从左至右：57mm二维振镜模组，8mm二维振镜模组，10mm二维振镜模组

二维振镜模组采取单通道驱动来知足快慢两轴同时扫描的效果，快轴由谐振旗子暗记引发谐振模态正弦扫描，慢轴可以定制频率调制旗子暗记匀速扫描，从而形成光栅扫描。

光栅扫描轨迹图

由于压阻反馈直接通过半导体工艺制作在振镜芯片的快慢轴旋转梁上，比较于机器振镜外加的光电或光栅外部传感器，反馈直接输出的位置旗子暗记滋扰更小且不会故障。
感测通供应的开拓驱动板供应双轴反馈旗子暗记输出端口，二维光栅扫描下可供应的慢轴帧旗子暗记与快轴的反向时的行旗子暗记。

光栅扫描下的反馈旗子暗记：绿线为慢轴角度反馈旗子暗记，黄线为快轴角度反馈旗子暗记，红线为快轴反向脉冲旗子暗记

驱动开拓板，左侧为通信掌握板，右侧为驱动板

感测通新推出的一系列体积更小的一维振镜可知足更多的运用处景，镜子包含准静态和高频谐振模式，均配备对应的开拓板供客户拓展运用处景。

从左至右：准静态8mm一维振镜，谐振8mm一维振镜，2012mm一维振镜

感测通专注于研发和生产MEMS振镜，拥有独立的芯片自主设计能力，家当链完全，MEMS振镜加工工艺和封装工艺可控，模组成本将随着产量的增长稳步降落，为MEMS振镜规模化量产和运用供应保障。

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