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在常规工业加工领域中,Ra是常用的表面粗糙度评定参数,其定义为在取样长度L内,轮廓偏距的绝对值的算术均匀值。
2.三维粗糙度评定
随着工业制造越来越精密化,特殊是半导体和3C电子行业,传统的粗糙度评定为二维参数评定,评定的时候在一条线上进行评定,不能够完全地反响全体表面的全部信息,无法知足行业发展需求。
表面描述的三维评定方法是利用区域表面得到所须要的干系信息,给出表面形成机理信息和研究表面的直不雅观图像,三维评定从整体上对零件表面特色进行描述,具有全局性。Sa为常用的三维表面粗糙度评定参数。
Sa为表面算术均匀高度,指轮廓表面内的点与中央面间隔的算术均匀或几何均匀值,在取样区域D上,被丈量的轮廓面和建立的基准面之间的z坐标间隔的算术均匀,即表面粗糙度曲面方程z坐标绝对值的算术均匀,数学表达式如下。
表面粗糙度丈量方案中图仪器拥有丰富多样的粗糙度丈量办理方案,可知足各行业丈量需求。
1.SJ5760-R大量程粗糙度丈量仪
SJ5760-R大量程粗糙度丈量仪Z0轴行程20m~400m,粗糙度丈量范围Ra0.1m~Ra64m,可进行R参数、P参数、W参数、Motif参数等多种参数评定,运用非常广泛。
SJ5760-R用于轴承钢球的表面粗糙度丈量
2.SJ5730高精度粗糙度轮廓丈量仪
SJ5730高精度粗糙度轮廓丈量仪一次丈量可同时评定粗糙度及轮廓参数,具有14mm大量程粗糙度丈量范围,分辨率高达到次纳米级,系统残余偏差极小(<2nm),非常适宜丈量大曲面(轴承、枢纽关头、精密模具、齿轮、叶片、非球面)的超高精度表面粗糙度及微不雅观Pt轮廓。
SJ5730用于圆锥滚子轴承表面微不雅观轮廓Pt及粗糙度丈量
3.SuperView W1光学3D表面轮廓仪
SuperView W1光学3D表面轮廓仪,以白光干涉技能为事理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非打仗式扫描并建立表面3D图像,广泛运用于半导系统编制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造等领域,可测从纳米到微米级别工件的粗糙度。
硅晶圆粗糙度丈量
蓝宝石粗糙度丈量
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