徐州经开区：原磊纳米材料前辈制程镀膜设备制造中央项目正式投产

原磊纳米材料前辈制程镀膜设备制造中央位于徐州经开区凤凰信息家当园内。
在清洁车间看到，几名身穿防护服的事情职员们正忙着安装和调试ALD设备。
据先容，原子层沉积（ALD）是一种可以将目标物质以单原子膜的形式，一层一层镀在基底表面的前辈沉积技能，是半导体领域的必要技能。

原磊纳米徐州装置中央主任张厚鹏说，我们这个设备是通过一定的工艺手腕使材料在原子层级别进行沉积，沉积的厚度和沉积的循环批次可以受控，这个方面在海内算是领先的。
今年估量出货在50到70台旁边，预期产值在5千万到7千万旁边。

原磊纳米材料致力于成为拥有设备、材料、工艺全链条核心技能的半导体领域领先企业，为半导体行业供应最满意、最全面的真空镀膜设备及工艺办理方案，紧张产品是研发型和量产型ALD设备。

凤凰湾电子信息家当园是徐州经开区瞄准封装测试和第三代半导体家当打造的“特色园区”，经开区优化各项做事机制，踏实推进项目快速投产，截至目前，园区内江苏天科合达、江苏晶凯半导体、徐州芯思杰等9个项目均已竣工投产。

大庙街道代办做事中央事情职员王莹见告，徐州原磊是凤凰湾电子信息家当园第一家做半导体薄膜沉积设备的项目，也是园区2022年第一家投产的企业，下一步，将连续跟踪做事园区其他在建项目，担保在建项目早投产，投产项目早达效。

徐视融媒：李玉洁 孙思亚

通讯员：闫实 王默

编辑：戚蓓宁 汤倩