国内首条12英寸智能传感器晶圆制造产线项目在广州增城投产

增芯是在增城落地的第一家芯片制造企业，其12英寸前辈智能传感器及特色工艺晶圆制造产线项目是广东省、广州市重点项目，对增城乃至广州、广东集成电路家当发展具有主要意义。

增芯项目外景 谢锡权 摄

“芯片有了增城造”

走进增芯项目主厂房参不雅观通道，可直不雅观理解芯片制造生产过程。
芯片制造对清洁环境哀求非常高，在现场看到，包括光刻机、干法刻蚀机等在内的晶圆加工设备以及各种检测和测试设备有序摆放，全体操作车间六根清净，事情职员身穿清洁服进行操作。
目前项目一期清洁间面积达1.6万平方米，估量2025年底能达到月产2万片的目标。

芯片制造类似乐高盖屋子，先用晶圆作为地基，再层层往上叠加芯片制造流程，重复多少次，产出相应的芯片。
“增芯可以在增城生产第一批芯片产品了。
”现场，增芯总经理张亮难掩内心激动。

据先容，芯片完全的制造流程涉及气相外延、氧化、PVD/CVD、光刻、刻蚀、离子注入等步骤，分别对应不同设备。
举行投产启动仪式，意味着项目已建立起制造系统，全体生产流程能够连贯地运作，后续将通过产品良率提升和产能爬坡，加快产品交付事情。

“随着工业互联网、大数据、物联网等新一代信息技能的快速发展，前辈智能传感器芯片大有可为。
”张亮表示，产品将紧张运用于新能源智能汽车、超高清视频显示、高端装备、5G、人工智能、工业互联网等领域，能极大知足大湾区在干系上风家当领域对半导体及集成电路的弘大需求，加快补齐家当链短板，打破家当关键核心技能，提升家当链供应链稳定性和安全性。

“当代活力核”迎来“芯”景象

作为广州东部中央“当代活力核”的主要承载区，增城加快构建以“芯显车”为主导的当代化家当体系，并在“芯”家当方面不断实现打破，智能传感器百口当链雏形初步形成。

增城在广州集成电路“一核两极多点”中扮演着重要角色，紧张聚焦智能传感器和芯片制造领域。
在链主企业增芯的牵引之下，增城已引进落户越海、广东微技能工研院、中微广州、智达星空等一批能级高、带动力强的骨干项目。

为推动百口当链条完全集聚，增城同步打造广东省首个获批的智能传感器特色家当园，形成包括增城经济技能开拓区核心区组团、电子材料组团、科教城组团、公铁联运组团4个组团，以制造为核心的“一核一圈四组团”空间布局，覆盖生产制造端、装备制造端、创新平年夜驾、封装测试端、材料供应端、芯片设计端、终端运用端，估量到2035年形成千亿级智能传感器家当集群。

当前，增城正全力以赴优化营商环境，大力支持增芯等重点项目培植，做好全链条要素保障，保障项目顺利投产；增城海关加快聪慧海关培植，将口岸查验指令调度为由目的地海关到厂实行，合营企业生产流程第一韶光到厂考验，做到随到随检，一次开箱、一次验放。

同时，增城积极制订出台和推动各项扶持政策落实，在健全完善家当链条、提升家当创新水平等方面予以政策支持，加快集成电路及智能传感器家当发展，为造就壮大当代化家当体系供应坚实支撑。

文｜ 马灿 通讯员 增宣图｜通讯员供应