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1980年代初,经由十年动荡,我国的芯片家当处于百废待兴的状态。
同一韶光,江泽民开始掌舵电子工业部。
1982年5月,江泽民任电子工业部第一副部长、党组副布告,1983年任部长、党组布告。他深入生产第一线调查研究,提出电子工业“打根本、上水平、抓质量、求效益、翻三番、超十年”的发展方针,组织领导电子工业构造调度和技能改造,加强集成电路、打算机、通信以及系统工程等重点项目的科研开拓和生产事情,使电子工业更好为国家经济培植和国防培植做事。
1982年10月14日,“六五”期间我国电子工业的主要工程(以下简称“六五工程”)——双极集成电路引进线工程举行后工序验收仪式(该工程由地处无锡的国营江南无线电器材厂,即“742厂”承担)。时任电子工业部副部长、党组副布告的江泽民参加仪式并致辞。此后,“引进线”后工序正式投入了大生产。
1995年5月13日,中共中心总布告、国家主席江泽民到承担“908工程”的中国华晶电子集团公司(742厂与24研究所无锡分所合并为华晶)察看,题词“为加速国民经济信息化进程而努力奋斗”,还亲自为公司提写了厂名。
对付“908工程”,江泽民曾说:
1989年,我主持中心事情往后,决定启动了908工程。我们该当复苏地认识到,核心技能是买不来的,必须靠我们自己,只是一代又一代的引进新的生产能力是赶不上天下前辈水平的。我们研究职员要争口气,否则发达国家在核心技能方面总是要卡我们的脖子。
可以说,江主席对付芯片家当始终是非常看重的,尤其在他主政电子工业部的那段韶光,“六五工程”作为芯片家当引进工程的重中之重,在短韶光内迅速提高了我国芯片工业的水平,并将学到的技能广泛传播给了全国的国营电子厂,为我国电子工业进入市场化竞争阶段夯实了根本。
在中美角力芯片家当、我国重提“举国之力”培植芯片家当的大背景下,非常有必要重温江主席当年顶层设计、主持的“六五工程”。
在“六五工程”中,现任中国半导体行业协会副理事长的于燮康,见证了这一“举国工程”,并在三十多年后组织当年的浩瀚参与者回顾、研究、撰写了一本翔实的册子《“六五”创芯记》。
芯流智库经由江苏省半导体行业协会授权,现将《“六五”创芯记》刊出。本文翔实地展现了“六五工程”是如何在江主席的领导下取获胜利的,个中对付上至厂长、下至车间工人的许多人物都做了动人的描写,可以说形象地揭示了一个颠扑不破的真理:
公民,只有公民,才是创造历史的真正动力,公民是我们奇迹发展取之不尽的力量源泉。
本文分为七个部分:
一、勇担大任;
二、前期准备;
三、技能会谈;
四、工程履行;
五、家当链国产化;
六、验收;
七、“六五工程”的启迪。
以下,为正文:
勇担大任
六十多年前的一个决定,成为了共和国微电子历史的发轫。
1956年,在周恩来总理主持下,中心组织全国上千名科学家制订了《1956年至1967年科学技能发展远景方案纲要》,个中把“半导体技能的建立”作为重大任务,专门列章,并把打算技能、半导体、自动化技能、无线电电子学这些在当时中国还是空缺的项目,列为《纲要》的重中之重,哀求摆在其他重点任务的前面来抓,称为“四项紧急方法”。
正是这四项紧急方法的落实,大大推动了我国半导体科学技能的快速起步和发展。这是共和国的缔造者和决策者,为振兴国家新兴家当擘画的一张蓝图,是他们的一个梦。
但是,由于众所周知的缘故原由,1966年开始至1976年结束的十年动乱,对中国的半导体科技奇迹造成了严重毁坏和无法填补的丢失,而这十年,正好是天下半导体技能取得打破性发展的十年。当我们还在生产二极管、三极管的时候,国外同行已经能生产超大规模集成电路,并且这种产品大量涌向市场。
在当时的“牛棚里也能搞半导体”谬论鼓吹下,全国半导体厂各处着花,形成了“一拥而上”的局势。但都是作坊式的生产办法,产量小、质量差。
尤其是数量少之又少的国产集成电路,成为每年电子元器件订货会上紧俏的产品。一块与非门电路的价格曾高达数百元,约相称于那时刚毕业大学生一年的人为,发卖利润率达到40%以上。
时任中科院微电子中央主任的王守武师长西席,在1977年8月中心召开的科教事情漫谈会上,明确指出,“全国有600余家半导体工厂,其一年生产的集成电路总量,只即是日本一家2000人工厂月产量的十分之一,这种分散而低效率的生产办法该当尽快改变”。
在这关键的历史时候,中国最高决策层面对新一轮技能革命的寻衅,绝不犹豫地做出了计策性的决议:培植我们自己的、具有前辈水平的微电子工业。
1977年,为了发展我国彩色电视机,经国家批准,准备从国外引进彩色显像管生产线和彩色电视机用双极集成电路生产线。当时初步拟定彩电用双极集成电路生产线选址在湖南。
传到无锡国营江南无线电器材厂,以王洪金为厂长的领导班子坐不住了。王洪金怀着强烈的竞争意识和义务感,要去争取这项工程。在重大的机遇面前,王洪金展示出来的这种勇气,绝非有时。凝聚在他身上的是厂级领导班子的集体聪慧,还有全体科技职员和全厂职工发奋图强的主人翁精神,更有江苏省和无锡市政府给予的全力支持。
时任副厂长的蒋守雷回顾:“1960年,当时的江南无线电器材厂成立时,工人们是用土办法制造二极管。1963年,国家第四机器工业部的领导看到它的前景,把它收归部里,这便是国营江南无线电器材厂的由来。随后,工厂逐步发展成为无锡微电子联合公司、中国华晶电子集团公司。”
1968年底,由国家有关部门推动的“厂校合并”,(即国营江南无线电器材厂与部属无锡无线电机器工业学校合并),使工厂从棉花巷搬到了大王基(无锡无线电机器工业学校所在地),为工厂发展供应了新的契机和更大的空间,发挥了电校在企业管理和人才支撑方面的中坚浸染,为企业的华美转身再上台阶奠定了根本。
自那时起,从棉花巷一起走来的国营江南无线电器材厂由名不见经传的弄堂小厂,逐步发展到能够生产硅高频中小功率三极管、硅低比年夜功率晶体管、硅开关三极管和视频放大器等20多个产品的部属工厂。工厂在生产管理、产品质量管控、干部职工军队培植等方面都有了长足的进步。
特殊难能名贵的是,工厂已经开始在集成电路生产方面作了一些探索和考试测验。曾经在老车间事情多年的工程师周勋等老同道回顾:
在七十年代中期,那时在东大楼的五车间,已能生产CMOS和POMS电路、高速STTL系列电路;研制了128位移位存储器、1K位存储器。到七十年代后期,西大楼车间净化改造后开始生产黑白电视机用全套六块电路、并承担了国家微型打算机用8位CPU的攻关任务。
这些都是王洪金厂长敢于承担国家重任的“底气”。
在电子部基建司司长勘察地形途经无锡时,王洪金厂长据理力争,连夜起草报告,驱车追送上海。当他风尘仆仆敲开宾馆客房时,那位司长被冲动了。
随后,王洪金几次上北京,向部领导列数无锡承担项目的上风。私下里有人对王洪金说,“湖南是毛主席的家乡,又是中心领导事情过的地方,这是政治须要”。王洪金脱口说道,“搞经济培植应遵照经济的自身规律,不能再做那种用政治代替科学的蠢事了”一句话,字字铿锵,落地有声。在当时的历史形势背景下,能出此言是颇需胆略和勇气的。
部领导对这位有胆有识有奇迹心的实干家刮目相看了。躺在病床上的第四机器工业部部长王诤知道后,高兴的说:“我投你们无锡一票”(王诤于1978年病逝于北京)。
这是多么关键的一票啊!
海内同行瞩目的“六五”集成电路引进工程,在经由科学严密的研究和论证之后,终于定址无锡。双极集成电路生产线项目培植走出了关键性的一步。
多少年后,时任电子工业部总工程师、中国电子信息家当集团公司总经理的俞忠钰在回顾录中不无感慨的说:“这个项目的成功与各级领导的精确决策和工厂职工的努力密不可分,时任厂长的王洪金对此作出了主要贡献”。
随后,引进项目进入会谈阶段。经由稽核、比较、选择,他们先后同日本三家公司进行了会谈。参与会谈的高等工程师孙瑞楠回顾:“1978年在天津宾馆,中日厂商代表分为三个组进行了引进项目会谈,与日立公司主谈的是王洪金、与东芝公司主谈的是车运洪、与松下公司主谈是刘克银,在天津谈了一个多月没有谈完,回到北京在三里屯的中技公司连续谈”。
但是,因双方差距较大,会谈陷入了僵局。关键时候,当时任国务院副总理的李先念同道在北京出面同日本友好人士、时任日本通产相的土光敏夫进行诚恳会商,终于匆匆成日本东芝公司与我方互助。
与此同时,1978年1月,国家四机部第11设计院、四机部勘测公司会同无锡市操持委员会组成事情组正式到无锡现场进行踏勘。通过踏勘和对无锡地区及国营江南无线电器材厂的地理、环境、水文地质和自然资源等有关资料进行详细剖析研究后,大家同等认为无锡市和国营江南无线电器材厂具备新建引进集成电路生产线厂房的条件。
日方作为互助方还专门安排代表来无锡现场进行稽核,详细察看了地处大王基的国营江南无线电器材厂及周边环境,对工厂的生产条件、生产情形给予了很好的评价。
中日双方同等认为,无锡市具有较强的工业根本、较好地理人文环境,国营江南无线电器材厂又具有较好的科研生产根本,厂区后面有较大的发展余地,交通方便、空气清新、环境清洁、水电等公用举动步伐完好,将引进项目设置在这样的地方是经济、适宜的。
1978年7月,江苏省政府根据无锡市政府提出的关于引进集成电路生产线的定点报告,正式向国家计委、国家建委提出报告,哀求将引进线定点在江苏无锡国营江南无线电器材厂。
1978年10月,国家计委批准了江苏省政府和四机部的“定点报告”,正式下达了操持任务书。
任务书指出,赞许利用国营江南无线电器材厂进行扩建,建成专学临盆彩色电视机用集成电路专业工厂年产量2600万块的生产能力,总概算为27660万元(1978年官方公布汇率为1美元兑换1.5771元公民币)。批准引进设备1426台/套,个中,国外前辈设备967台/套。
前期准备
随着国家操持任务书的下达,工厂急速面临着从工程设计、厂房培植、设备引进、到安装调试、工艺演习、生产技能交卸、推广运用等多个领域的全新寻衅。
承接重大工程须要资金、须要技能、更须要的是与工程干系的各方面人才。
为此,国营江南无线电器材厂从全国各地先后引进了千余名包括工程培植、动力运行、专用设备、工装模具、工艺技能、质量管控在内的各领域专业技能人才。在国家部委和各地主管部门的支持下,调来参与引进工程项目的不少人才,是兄弟企业或科研机构的专业技能骨干。
除了招聘选调专家外,工程技能职员及出国演习职员的外语能力等则须要靠工厂培训。
1977年,厂长王洪金在争取项目落地无锡的同时,他未雨绸缪,动手安排工厂劳资、人事和技能部门组织技能职员进行科技日语培训,日语翻译刘秀芬担当老师。曾经身为个中一员的阮舒拉回顾说:当时技能职员参加学习的积极性很高,每周二、四下午和晚上,培训教室坐满了学员。外语学习在引进工程项目中起到了主要的浸染。
1978年,当国家计委和四机部确定引进项目在国营江南无线电器材厂培植后,厂长王洪金又果断决定,专门选调20多名年轻的技能职员进行日语口语培训,以便于在工程培植中发挥他们既懂技能、又会外语的上风,承担起引进工程翻译任务。
在工程会谈和培植施工进行的同时,当选调培训的师生刻苦学习、传授教化相长,仅用短短一年多韶光,这些工厂自己培养的年轻翻译就能够与工厂招聘的翻译、老师共同承担起接待日方技能职员、现场会商、出国培训和工程技能互助互换的翻译事情。
为加强对引进线工程培植的组织领导和指挥事情,经四机部和江苏省政府批准,成立了工程领导小组和现场指挥部。建线领导小组由四机部、江苏省、无锡市以及国营江南无线电器材厂的卖力同道组成,江苏省副省长汪冰石担当组长。由江苏省电子局、无锡市政府和国营江南无线电器材厂卖力同道组建了现场指挥部,无锡市政府副市长薛成志担当总指挥。
为了国家重点工程,无锡市在惜土如金的郊区划出一个大队的地皮,迁居了一个村落落,安排征用工厂北面的200多亩地皮。各级政府都积极做好有关征用地皮补偿、拆建房安置等详细事情,支持引进工程项目落地无锡,拆迁事情顺利履行。江苏省委布告包厚昌和工程领导小组卖力同道多次到现场稽核,理解土建前期工程进度。到1979年底,经各有关部门共同努力,顺利完成了项目工程“三通一平”的根本土建。
时任副厂长和培植总部副主任的寇化青当年卖力外事事情和工程培植,他回顾到:考虑到工程履行往后,会有大量的国内外专家来现场事情。为办理外国工程技能职员的生活和事情条件问题,经国家建委批准,四机部投资培植外宾招待所(后改名为华晶宾馆)。经两年施工,外宾招待所于1981年3月竣工并交付利用,担保了工程培植的须要。
技能会谈
技能会谈的任务是艰巨而漫长的。
时任国营江南无线电器材厂总工程师的车运洪,作为引进工程技能会谈的首席代表,有整整三个年头的春节是在会谈桌旁度过的。他每次会谈前都要把能够得手的英、日、德等外文资料看完并做好条记,为会谈做好充分准备。
一次会谈中,对方指定中方要买某公司产品设备,车总根据节制的信息,提出另一家公司的设备更前辈,价格更合理,并提出往后的设备维修问题由中方卖力办理。对方哑口无言,终于赞许按照中方的意图签订条约。
时任副总工程师的黄兰芳回顾,由于西方“巴统”的封锁,当时有些前辈技能无法引进。如1978年6月7日签订的转让条约,简称7867条约,它是个后工序的引进条约,不包括前工序,而这又正好是我方急需的技能。为此,通过做事情,经由中日有关高层的友好协商,签订了一份协议,日方赞许向我方供应圆片制造技能,帮忙培植圆片生产线,供应条约产品的技能资料,帮忙购买所需设备,接管演习生培训,叮嘱消磨专家进行现场辅导。
技能会谈中,我方专家不仅仅要时时处处以国家利益为重,捂紧国家的钱袋子,还要千方百计为国家争取急需的新技能;既要据理力争锱铢必较,又要广交朋友做事情,尽可能扩大会谈成果。
技能会谈中的这种封锁与反封锁、掌握与反掌握的较劲也同样涌如今出国演习培训中。
1982年2月赴美参与单晶炉培训的工程师王进回顾:走进罗彻斯特的单晶炉制造公司,进门处陈设着一米多长的8英寸单晶,并专门围起角,不许可我们靠近,由于那里正在研制拉制12英寸的单晶炉。
对方说,我们采购的单晶炉只能拉制3英寸单晶棒。当设备到厂安装调试验收合格后,我们通过改进,知足了后续扩大生产的工艺哀求。培训末期,我们看到引进设备的装箱清单大吃一惊,个中关键性花费备件非常少。易损备件少,就有可能导致停产。装箱单中却包含价格昂贵的其他材料。于是我们提出了修正条约的哀求,决定取消海内可以替代的材料,增加关键备件。事后证明,这种改变确保了通线试生产的成功。
工程履行
1980年4月,四机部领导在无锡主持召开了集成电路引进项目领导小组第二次会议,会议对各施工单位进行了动员,并对急迫须要办理的问题作了10个方面25条决议,这对引进项目基建工程起了极大的推动浸染。
1980年5月1日,锡山脚下机声隆隆,彩旗飘荡。彩电用集成电路生产线引进工程经由2年的准备,终于破土动工了。24个施工单位都派出了建筑实力最强的施工军队和施工机器,抽调紧张干部到现场指挥,4千多名施工职员顶风雨、战高温,在工地上昼夜奋战。薛成志副市长亲自到施工现场,办理工程急需的钢材、水泥、石子、木材的运输问题,担保了工程进度。
刚从四川调来的建筑工程师康光富主管操持调度,他抓紧韶光翻阅施工图纸和设计资料,深入工地调查研究,很快熟习施工进度和哀求。
工程进入建造当代化超净厂房时,持续阴雨拖延了工期,为了把失落去的韶光夺回来,康光富制订了土建和安装立体协同推进的施工操持,让土建、安装交叉进行,地上地下同时施工,有周密的年度、季度和月度操持,还有详细的周操持和日操持,每天清晨各施工部门都能定时拿到详细详细的作业操持和交卸韶光。
组织调度这样繁芜繁重的培植工程,同事说他头脑里像有台电子打算机,能够随时报出精确数据,提出独到的见地,确保工程提前投入生产,他照样以被评为无锡市劳动模范。
在引进工程的11万伏高压线架线小组事情的吴永林,接到省电力设计院一份关于铁塔防雷接地的施工方案,老吴算了一笔账,卵石沥青一平方米,约需用度20元,一个铁塔要100平方米,全线共有16个,铁塔须要这种装置,加上地皮征用和青苗丢失用度,共需12万元,不但投资多,韶光长,还要征用地皮,有可能耽误全体线路定期通电。
老吴根据多年的实践履历认为,采取塔基下埋环的方法,同样可以办理高压电铁塔防雷的问题。他一方面写信给《电子天下》杂志编辑部进行技能咨询,另一方面把这个想法向周围的同道及工地卖力人申报请示,得到大家的赞许和支持,为了使这个方法更有科学依据和说服力,他和有关同道到采取这种防雷装置的福建山区调查,结果表明,他的想法是可行的。
这个新方案被批准履行往后,用度不超过一万元,韶光仅用了一个星期,为国家节省资金约11万元。1981年9月2日的《工人日报》在一版还专门宣布了他的这个业绩。
配监工程,在引进工程培植中霸占十分主要的位置,有的管道粗如水桶,有的细入瓶颈,总长达几十公里,任何眇小轻忽都会给工程留下隐患。
女工程师袁榴英怀着高度的任务心,对国外技能既负责学习,又不迷信盲从,仔细审核日方供应的设计图纸,先后创造60多处缺点,会同日方逐一订正。为了担保管道的施工质量,不管隆冬酷暑,袁榴英对落成的管道都要逐根进行各种压力测试,上高空、下地沟仔细检讨,确保考验合格。她卖力的30多公里管道合格率达到100%。
从1980年5月正式破土动工,到1981年底,除前道工序厂房外,引进工程的国外引进设备厂房及海内配套厂房的主体工程全部完成。一幢幢崭新的厂房,矗立在锡惠山麓、运河之滨。
前工序厂房培植是全体培植工程的难点。主厂房钢屋架跨度36米,总重达千吨,制作这种大型钢屋架,在当时无锡市和江苏省建筑史上还是第一次。
无锡市建工局和建筑一公司的工程技能职员反复研究,大胆设想,经由努力奋战,在短短几个月韶光内,他们钻螺孔就达10多万个,每个螺孔偏差不超过7.5微米;焊接钢缝15000米,条条焊缝合格,终于准期圆满完成这“第一次”。
其余,如此大面积的超净厂房在我国也是首次培植,有着极高的防震哀求和苛刻的恒温、恒湿和清洁度哀求,且该类项目施工单位从未承担过。
个中,光刻工序的厂房,完备是由日方供应设计、供应工程材料和辅导施工。为了确保光刻间工程质量,中日双方工程技能职员密切合营,一根根龙骨、一块块壁板、一颗颗墙钉都严格按标准操作,直至检讨验收合格为止,确保了厂房清洁度等指标验收一次通过。
从1980年4月开始,先后有60多批150多人次的日本专家来到工地事情。日本机电专家柳泽师长西席和中方对口工程技能职员李曙光相互尊重、相互帮助、合营默契,协力纠正了多起施工中存在的问题。在中日双方技能职员的全力互助下,操持须要五天才能完成的自动失火报警器安装任务,提前两天完成,为封测生产厂房按时运送高压电创造了条件。
日本配管专家岩间师长西席对事情一丝不苟,总要亲眼看到安装停当妥善才放心。有一次他来到工地,岩间要检讨洗濯管道的塑料垫片。由于这是在三米高的屋顶上,别人劝他不要上去看了,岩间不肯马虎,独自爬上高高的屋顶仔细检讨,创造洗濯液投放错了,他随即纠正了缺点,并在紧张管道上改换了新的塑料垫片,避免了差错。
与此同时,中方也选拔了一大批生产技能骨干赴日本培训演习。黄兰芳回顾:
“双极生产线赴日演习分两期进行,每期四个半月,第一期45人,由蒋守雷副厂长带队。演习紧张内容是组装技能、测试技能、引线框制造技能。第二期65人由王士法副厂长带队,演习紧张内容是设计培训圆片制造技能、硅材料制造技能等等。110名演习生中有5名演习生二期都参加演习,他们是卖力测试技能的王承基、卖力IC运用技能的祝富林、卖力新产品开拓技能的林鸿民、滕敬信,还有我卖力生产线全线贯通技能。”
1980年,全国“三八”红旗手、市劳动模范陆美芳和键合工序其他4位同道,随团赴日本演习。他们措辞不通,为了多节制一点技能,就通过画图手势,客气请教。她在海内曾创热压工序的最高生产记录,这次改学键令,确实有不少困难。
作为班长,陆美芳不仅要学操作还要学管理,她早来晚走,消化资料,终于取得好成绩。她的键合日产量创造了当时日本工厂的最高指标。演习小组在她的带领下,全组考试成绩均匀在96分以上,担保了返国后键合工序的设备安装和调试定期进行。
其余,许多出国演习团队处处一个钱打二十四个结,为国家节省外汇成了大家的自觉行动。超纯水稽核演习小组一行三人在日本稽核演习22天。他们创造在旅社用餐比上餐馆便宜2/3,于是,他们清晨买面包,午餐险些每天吃面食,住宿也选在演习工厂附近的一样平常旅社。
他们处处一个钱打二十四个结,省吃俭用节约875300多日元,相称于公民币6000元,占国家规定利用外汇指标的35.7%。
作为海内微电子行业最大规模的引进项目,引进的设备就近1500台套,个中国外前辈设备占了70%。如何通过自己勤恳的双手,聪慧的大脑,让这批设备在中国的地皮上、在自己的企业中顺利运转,发挥浸染,成了当时所有技能设备职员,特殊是曾经外出培训演习的技能生产精英们日思夜想的心头大事。刚下眉头,又上心头,他们用坚实的肩膀为通线达产担负起国家交托的重任。
制版精缩机、圆片光刻机都是对振动有严格哀求的设备。从上海海关运达现场时,可谓是前呼后拥。开箱时技能职员对外箱中的加速度传感器记录的最大数值都逐一进行记录备案,确保设备安全;
单晶的生产过程中,对位错和层错有严格哀求。为此,单晶炉底下要用软木地基。为了确保避震达标,厂房外专门挖了防震隔离沟,并让载重8吨的卡车在路上驶过,利用最灵敏的震撼仪,测试炉座振动量;
抛光机的载片盘,平时是微凹的,利用时,通过53度的软水流过让其变为平整。为了探求最佳温控点,要反复实测载片盘的平整度,直至准确设定;
理化剖析用的日立公司30万倍电子显微镜,其标样是分子蛋白,蛋白间距是纳米级,即只有在达到30万倍电子物镜畸变系数最小时才能清晰丈量到。为了确保电镜质量,设备职员坚持验收标准,日立公司工程师来现场调试了三次才通过中方验收。
为了全线早日贯通,设备职员和工艺职员常常会为一条管线、一只阀门、一个接口,反复谈论和推敲,直到符合哀求为止。设备职员上班就没有按时放工的习气,常常都是很晚才离开事情岗位,又常常半夜被紧急叫醒,到厂处理突发事情。
1984年盛夏的一天,单晶炉加热变压器一英寸粗的通电紫铜管内,冷却水管的焊接头溘然断裂,水流狂喷。此刻,工程师王进恰好在炉边,他知道事情中的单晶炉是不能停电的,为此他立即打开变压器的侧面板,双手把铜管接头攥紧,带电连续事情。
单晶炉通电铜管,此刻电压1至60伏、电流达2千安培以上。对这种情形的带电作业,王进心里有数,由于从等电位角度还是安全的。如果此时不迅速连接铜管,引起冷却器断水,将使炉体基座及下炉筒在高温下烧毁,造成设备彻底报废,后果不可设想。
事后查明,冷却水管焊接头断裂缘故原由是管壁结垢所致。为此,在履行除垢洗濯的同时,特地再设计、建造了软水冷却水库,完备杜绝了今后再发生此类事件。
也是在1984年6月,生产线引进了GCA公司的图形发生器和精缩制版机两台设备。由于设备是外商转卖给我们的,不卖力安装调试。在会谈过程中,外商提出了很苛刻的条件,不但要价高,而且安装调试及维修的技能指标均无验收标准,由外国专家说了算。
面对究竟是聘请外国专家,还是自己安装调试的决议,曾经赴国外学习操作但没有学习过安装调试的高等工程师吴吉、工程师张锦山和曹阳三位同道站出来,乐意试一试,为中国人争口气。
他们打开箱子一看,两台设备都是解体包装的,很多关键部件己经离开了精确的位置,而且短缺构造图纸和电气线路图,这都给安装带来了困难。吴吉他们憋着一股子气,边剖析事理,边摸索实践,闯过了一道又一道技能难关。但在调试打算机时,碰着了不能把磁带上的程序和数据储存到打算机里去的故障,检讨很永劫光仍旧没有找到症结所在。
他们赴北京、到上海,终于在有关单位找到两份有主要参考代价的资料,通过反复试验,苦干20多个昼夜终于使打算机运转了起来。再经由前后四个月的紧张事情,两台精密设备的调试分别得到成功,终于制出了符合集成电路生产工艺哀求的版子。这样既为国家节省了5700多美元的外汇,也为今后设备的日常维修打下了良好的技能根本。他们还利用前辈的技能和设备,帮助其他兄弟单位完成国家攻关项目所需的集成电路制版任务。
双极集成电路引进线从1980年5月正式破土动工,用了2年零4个月的韶光,相继通过了设备性能检讨、单台设备工艺试验、工艺条件确认和终极考察四个阶段,首先实现了后工序的投产。
1982年10月14日,在后工序厂房外举行了隆重的集成电路引进生产线后工序中日双方验收交卸仪式,时任电子工业部第一副部长江泽民到会致辞,中日双方二百四十多名代表参加验收仪式。双极集成电路引进线后工序正式投入了生产。
中日双方验收交卸仪式
曾经出国培训演习的技能职员和闇练工人,成为引进线后工序设备安装调试和生产中的骨干。他们根据日方的资料、自己节制的技能和我国的生产条件编写出全部工艺文件,使生产按工艺规程进行。
组装车间的操作工人,险些都是靠近高考录取分数线的高中毕业生,受过严格的纪律教诲和操作技能培训、考察,得到厂部颁发的操作证。组装线试生产期间,这些青年人上机大显技艺,生产的集成电路成品合格率超过中日双方条约规定的担保值,受到日本专家夸奖。
六车间劈刀班的叶继铃,面对前辈的日本设备,她并不知足。日本工人最快一天可研磨28个劈刀,她经由试验,成功利用一次性研磨(一次性穿丝)工艺,每天可研磨劈刀40至50个。她搞的外锥精研磨新工艺,省却四个工序,提高劈刀质量,延长了劈刀寿命。
此外,她还改进了倒角机,办理了偏幸问题。1985年她揭橥了《提高倒角成品率》等两个QC成果,获无锡市“五小”成果奖。经由努力,劈刀班生产的陶瓷劈刀已从81年引进时的2个品种发展到36个品种,能适应各种规格型号的键合机利用。国营江南无线电器材厂成为当时海内唯一能制造键合用陶瓷劈刀的生产厂家。
黄兰芳在多年往后回顾说:后工序的通线试生产,也不是一帆风顺。试生产的产品必须经由三个1000时的品质考察。即高温高湿、高温通电、高低温循环。技能职员经由40多天揪心的等待,考察结果个中有一项高温高湿考察没有通过。
经由送样剖析,结论是氯离子沾污。为了探求问题点,当时后工序每个工序节点全线逐一排查。经由反复研究论证,终极确认是由于塑封后引线框镀锡工序的“酸洗”步骤造成了氯离子沾污。后来很快找到了酸洗替代品才办理了问题。
1983年3月,引进线前工序投产,一线的工程技能职员花了大量精力不断摸索,办理通线过程中涌现的问题,确保前道工序定期投产。
集成电路前工序投产、验收的困难更多。据黄兰芳回顾:前工序在没有条约,没有技能担保,设备自购的情形下,借鉴后工序验收履历,订定了前工序验收办法。当时厂领导哀求前工序所有参战职员努力再努力,要把演习工厂成品率作为通线的目标成品率。
为此,芯片制造各工序的技能主管在负责学习、消化接管日方技能资料后,根据现有设备做了大量的工艺试验,为每道工序、每台设备制订了严格的工艺流程和操作程序,使每个工人都闇练节制、应知应会。前工序试生产成品率达到了日方演习工厂的水平,得到了日方技能代表的讴歌。
时任五车间副主任的陆诗庄回顾:当时在氧化工序涌现了问题,抛光好的电影经由氧化之后,在聚光灯照射下可见一片白雾(日光灯下肉眼看不到),显微镜下不雅观察白雾竟然是眇小的颗粒。
我初步判断,问题该当出在水和气上。经由测试去离子水是合格的,氮气和氧气的纯度也符合哀求,颗粒是哪来的呢?动力厂供应的气体是经由过滤器过滤进入各工序设备,我进一步剖析认为可能出在气体源头过滤器上。经检讨创造,抛光工序的氮气过滤器孔0.45微米,而工艺哀求是0.25微米,不符合工艺哀求。设备维修职员改换氮气过滤器之后,氧化后的圆片白雾征象就肃清了。
曾任总工程师的滕敬信回顾:当年,在王洪金、车运洪两位领导的关心和蒋守雷、黄兰芳两位领导的悉心辅导下,由我和林鸿民卖力预备成立了工厂新产品研发机构。
参与新产品研发技能职员有一百多人,设有产品及工艺组、版图设计组、电路测试和运用技能组及CAD室,担负起工厂的新技能、新产品研发任务。他们在与前工序、后工序外延车间及理化剖析组工程技能职员的协同努力下,办理了大量的技能难题。
设计、定型的集成电路有:彩电两片机电路、松下彩电机型5片机电路、黑白三片机电路、音响系列电路、电话机电路、稳压电源系列电路等几十种之多,产品达到国外同类产品水平。为此,工厂得到电子工业部科技进步一等奖和国家科技进步二等奖。培养的一批技能人才,为工厂的发展发挥了巨大的浸染。个中不乏佼佼者,成为业界很多企业的中坚、高管和企业家。
引进线量产时,新品发卖收入就占到工厂总发卖收入的四分之一,产生了良好的经济效益和社会效益。他对当年通线达产的情景不无自满、影象犹新:
“五车间、六车间生产线上的同道,经由无数个昼夜奋战建成了前道晶圆生产线、后道封测线,拉出了3英寸完美硅单晶、制出了合格掩模版、探针卡,建起了理化剖析平台、可靠性考察试验室,生产出合格的彩色电视机用全套产品,成品率比在日今年夜分工厂流片时还高。”
在全体培植期间的困难与艰辛是不胜列举的。在当时我国集成电路大规模工业化生产技能还非常掉队的年代,较短韶光就能顺利投产,工程培植者们所付出的努力也是超常规的。
从那时起,国营江南无线电器材厂开始量产CD7607、CD7611、CD7176、CD7609、C7193这五种集成电路产品。工厂技能职员自主研发的彩电两片机电路CD7680、CD7698、松下彩电机型五片电路、黑白电视机三片电路,以及音响电路等,都知足当时的市场所需。
至此,国营江南无线电器材厂成为我国的集成电路生产基地,为彩电国产化、为实现我国集成电路工业化大生产等方面做出了突出的贡献。
曾在发卖科事情的刘秀峰回顾,“六五”工程的培植成果全面知足了海内几十家彩电生产厂家配套元器件所需,南京714厂(熊猫牌)、南京电视机厂、上无四厂(凯歌牌)、上无十八厂(飞跃牌)、杭州电视机厂(西湖牌)、天津712厂(北京牌)、天津电视机厂(长城牌)、西安786厂(黄河牌)等海内著名品牌电视机,都采取了国营江南无线电器材厂生产的彩电集成电路,并在全国彩电质量评比中得到了良好评价。
家当链国产化
为了引进生产线材料早日实现国产化,在引进工程开始培植时,工厂就专门成立新材料组,在高校科研单位设点剖析,把一千八百多项原材料分类归口,根据国内外资料,确定材料属性,找出海内同一属性的材料,然后到江阴化学试剂厂、常熟金丝厂、苏州瑞红化学试剂厂、招远金丝厂、连云港塑封料厂、天津化学试剂厂等全国各有关工厂联系试制生产,并组织力量,扶助支持试制单位技能攻关,为他们供应测试平台,大大加快了材料国产化的步伐。
集成电路产品表面印记品名型号用的是一种分外油墨,海内没有厂家生产,工厂就与干系企业组织技能职员攻关研制并得胜利,受到电子工业部表彰。
引进线培植期间,厂里不仅使一千七百多项国产新材料运用于引进线生产中,而且还带动了海内建材、轻工、电子等根本材料工业产品升级换代。
在引进生产线上担当过车间领导的高湘回顾:
“通线是第一步,量产是目的。要量产,各种材料尽可能要国产化。在中心各部委果重视和全国各有关企业的支持下,原材料国产化取得成果。如拉单晶用石英坩埚、金刚砂、抛光布、电子级氢氟酸、双氧水、CVD用的特气、扩散炉石英管、光刻胶、制版平玻璃、分片薄膜、银浆、键合金丝、塑封树脂、引线框等材料能够试用,并逐步替代入口。”
曾任车间领导的王玉龙对扩散工序石英管国产化过程印象深刻:
扩散炉引进时配套了一套样品,价格昂贵。一根石英炉管就要一万美金旁边(当时价格)。而国产化事情中石英炉管是最难占领的。石英炉管的材料纯度要达到六个九(即99.9999%),当时双极电路流利圆片3英寸,石英炉管的直径便是130毫米,其长度为3米多和4米多两种。
不管是材料纯度,还是形状尺寸,对付承接攻关任务的生产厂来说,都是有一定难度的新课题。我们经稽核甄选了从属于北京玻璃总厂的北京605厂和上海闵行一家厂。我们供应东芝工艺文件上的图纸,另增加几件实际生产中须要的品种,给这两家厂试制。
国产石英炉管试用中 在高温状态下涌现炉管变形、塌陷等问题,工艺主管高等工程师孙炳华会同设备职员一起,剖析考虑研究,不断调度参数。经由无数次的试验,终于找到了采取改变扩散炉温的方法,办理了炉管变形、塌陷等问题,又起到了延长炉管和扩散炉体的寿命。石英制品的国产化成功,经济上实现了以1/5~1/4的价格替代入口,而且担保稳定供货,确保生产线持续畅通。
引进一个项目,带动了全体集成电路家当链的发展;建成一家企业,造就出一大批配套企业。“六五”工程培植须要半导体材料和装备国产化;半导体材料和装备生产企业也借助“六五”工程培植的需求,不断发展壮大。
“一家引进,多家受益”,更表示了“六五”工程培植的效益最大化。为了让引进成果共享,国营江南无线电器材厂毫无保留地向全国同行推广5m技能,专门成立了推广办公室,激情亲切接待来自全国各地参不雅观互换、培训学习的兄弟企业技能职员,安排他们到车间演习演习,免费分发5m技能的干系资料,积极传授管理履历,耐心细致地传帮带。
国营江南无线电器材厂还组织专门力量深入到各个企业去现场辅导,为兄弟厂家提高管理、技能水平、生产上量做了大量的事情。绍兴华越微电子、上无七厂、上无十四厂、上无十九厂、苏州半导体总厂、常州半导体总厂、北京器件三厂、北京器件九厂、江阴晶体管厂、南通晶体管厂、济南半导体所、青岛晶体管所、吉林半导体厂等一大批企业的发展发展,都曾得到过江南无线电器材厂的辅导和帮助。这对促进全国集成电路家当发展都起到了积极的浸染。
验收
彩电用集成电路工程从1978年国家批准立项,从技能会谈、厂房施工,到动力系统培植、设备安装调试,到通线流片生产出合格产品,历经八年,终于修成正果。厂区内,一座座厂房林立,机器设备轰鸣,生产线全线贯通,进入正常生产。看着面前这统统,工程培植者们心潮澎湃——由于,这项投资2.76亿元培植的彩电用集成电路生产线,终于迎来了国家验收和投产的主要时候。
为了欢迎国家验收,厂工程验收领导小组明确各部门任务和韶光进度,对验收所需的勘测设计、技能引进条约资料、基建资料、设备入口资料,产品工艺技能资料及产品样品、产品测试报告、用户报告,水电气动力源运行资料、工程安装、工程财务、审计和监理资料以及环保、安全、消防验收等各种资料,按进度网络汇总准备完毕,确保了国家验收的顺利进行。
1985年6月25日,华晶宾馆小礼堂内,华灯齐放,春风得意。主席台上方“彩电线性集成电路引进工程国家验收大会”的横幅夺人眼球。以电子工业部副部长张学东、江苏省副省长杨泳沂等组成的验收委员会代表国家通过了对该项引进工程的验收。
国家验收委员会认为“工程培植速率是快的,质量是好的,投资有所节余,经济效益显著。它的验收投产,不仅使我国集成电路进入规模化大生产,亦促进了我国微电子技能的发展。鉴于全体引进工程已建成,达到设计产能,并符合工程竣工验收规定哀求,验收委员会赞许国营江南无线电器材厂彩电集成电路引进工程交付利用,正式投产”。
至此,工程验收正式结束,工程培植得到高度评价。工程本身的引进、消化、开拓、创新过程,也为其它工程培植,特殊是引进工程的培植,供应了足资借鉴的履历。
让我们牢记这些历史性的韶光节点:
1978年6月7日技能转让条约签约;
1978年10月16日国家批准生效;
1980年5月1日正式破土动工;
1982年10月14日后工序验收投产;
1983年3月前工序验收投产;
1985年6月25日国家正式验收并投入生产。
这一个个韶光节点,成为见证国营江南无线电器材厂全体干部职工联络拼搏、建功立业的一座座里程碑!
“六五”工程培植一贯受到党和国家的高度关注,在工程培植过程中和建成投产后,江泽民等党和国家领导人先后亲临国营江南无线电器材厂察看辅导并题词鼓励,也给无锡微电子人以巨大鼓舞。
“六五工程”的启迪
现任中国半导体行业协会副理事长、江苏省半导体行业协会实行顾问、时任无锡微电子联合公司集成电路奇迹部主任、中国华晶电子集团公司总经理助理兼双极电路总厂长的于燮康,参与了“六五工程”,并在个中发挥了关键浸染。他结合家当发展的历史和现状,谈到了“六五”工程给我国微电子家当发展带来的启迪:
“六五”工程作为我国引进集成电路重大项目的开篇之作,党和国家高度重视、果断决策彩电双极集成电路项目立项引进,投资及时到位,各方增援不遗余力,全力推动工程培植。在培植中,党和国家领导人十分关心,多次亲临工程培植现场察看辅导。
当时的四机部(电子工业部)以及省市各级领导亲自挂帅,倾力合作,给予项目审批、培植资金、设备采购等方面的全力支持。电子工业部还专门成立了集成电路入口审查办公室,严格掌握入口,给予市场支持。这些都是集成电路培植工程能够圆满取获胜利的主要条件和担保。
“六五”工程培植始终坚持“以我为主,自主培植”的方针。作为一个百口当链全套系统引进的项目,引进什么,怎么培植,完备根据国家的实情而定,工程培植紧密结合国家计策,知足了市场需求,促进了企业发展,实现了社会效益与经济效益的高度统一。国营江南无线电器材厂也由此成为中国当时产能规模最大、涵盖集成电路完百口当链的专业化工厂。
回顾历史,我以为那个阶段,工厂在以王洪金等领导集体的带领下,发挥电校在企业管理方面的中坚力量,全体员工在练好内功、积聚能力方面下了很大功夫,这为之后企业的华美转身、上新的台阶奠定了根本。
第一、练好加强企业管理的内功。企业从棉花巷一起走来,工厂规模在扩大、生产能力在提高、技能水平在提升,企业对原来的规章制度进行了全面的修订和健全。紧张涉及三个方面:
在技能管理方面。贯彻“军品第一”、“质量第一”的思想,在原有根本上,订定了产品质量标准,贯彻工艺规范和考验标准;
在发挥群众民主管理的浸染方面。各生产班组、车间建立了岗位任务制,各班组都建立了六大员:统计员、财产保管员、安全员、生活福利员、质量考验员、考勤员,发挥群众民主管理的浸染;
在主要问题管掌握度方面,特殊对经营方面的主要问题,健全了定期经济活动剖析制度,对涌现的重大问题,由工厂领导亲自挂帅,组织力量,着力办理。
第二、742厂为国家集成电路规模化生产做出贡献。
引进线投产往后,其时,国外公司利用技能本钱上风向我国大量倾销集成电路产品,严重冲击了我国集成电路市场。
以是,当时来讲,742厂尽快打破设计产能、上量,不仅是工厂局部的重点事情,也是衡量当时我国集成电路生产是否形成工业化大生产能力的一个主要的标志和打破点。当时紧张战胜了一个难以超出、现在来看不是问题的障碍:那便是,企业内部在实行产品标准上,不再“去世抱国外给定的产品标准”,而是“全面知足用户需求为首选”。
第三、积极相应电子工业部“一家引进,多家受益”的号召,开展了5um技能广事情。
742厂消化接管引进成果,从大局出发,无私推广已经节制的技能,免费赠予技能资料,推广工厂的质量管理履历,派工程技能职员到兄弟单位增援。全国各地许多集成电路家当链干系企业的发展和发展,都得到过742厂的帮助和扶持,比如,长电科技、通富微电、吉林华微电子等。
资料来源:“六五”创芯记
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