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10月15日,在山东有研艾斯生产车间看到,单晶硅棒被切割成厚度仅一毫米直径约305毫米(12英寸)的硅片,再经由倒角、研磨等40-50道工序,终极硅片出厂时最高与最低的平整度偏差不能超过0.1微米。山东有研艾斯总经理闫志瑞指着一片硅片向先容,硅片即“晶圆”,相称于芯片的“地基”。
与芯片越小科技含量越高的制程工艺不同,硅片是越大则对材料和技能的哀求越高。12英寸硅片的面积是8英寸的2.25倍,可利用率是8英寸的2.5倍旁边,单片产出的芯片数量和经济效益明显增加。随着集成电路制程和工艺的发展,硅片趋向大尺寸化和制程风雅化,12英寸硅片为当前及未来较永劫光内的主流产品。
2018年以来,中国有研科技集团在山东德州投资近百亿元,落地7个项目,已投产4个。2020年,8英寸集成电路用大硅片通线量产,再到本日12英寸集成电路用大硅片家当项目通线,山东德州成为有研在全国投资布局规模最大、业务领域最广的科技成果转化基地。德州天衢新区依托中国有研“集成电路关键材料国家工程研究中央”,打造中国集成电路关键材料(德州)基地,将成为北方最大的集成电路用大硅片生产基地。
企业投资持续“加码”,中国有研科技集团有限公司党委委员、副总经理周旗钢信心十足,“投资项目进展顺利、运行正常,事实证明当初选择山东、选择德州是精确的。”他表示,德州将有研作为链主企业重点造就,精心培植专业园区,形成了较为完善的半导体家当生态,“有研也将充分发挥头部效应,集聚更多高下游企业落户德州。”
据悉,德州近五年来,半导体家当产值年均增长近20%。山东有研入选省级“雁阵形”家当集群领军企业库,天衢新区电子信息(集成电路)入选山东省计策性新兴家当集群和特色家当集群,已成为全省半导体家当高质量发展的主要增长极,一批高端优质项目聚“链”成“群”,发达发展。
(来源:大众日报)
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