编辑:[db:作者] 时间:2024-08-25 07:15:23
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Xslicer SMX-6010是一款坚直照射型x射线检讨设备,配备了岛津生产的微焦点x射线发生器和高分辦率平板探测器。
倾斜CT
倾斜CT拍摄大型实装板等时
因样品在XY载物台上,以是可移近X射线发生装置,进行高倍放大拍摄。
直线CT
直线CT拍摄大型基板等时
如果为得到高放大倍率而将样品靠近X射线发生装置侧,CT拍摄中样品会与X射线相互关扰,从而无法进行高倍放大拍照。
不雅观察事例
如果是基板上的样品,则不同于受样品宽度影响的直线CT,倾斜CT可进行高放大倍率拍照。
系统构成方便掩护的本公司低廉甜头X射线发生装置与搭载各种安全机构的系统,实现更低本钱、更安全的利用.
X射线发生装置:搭载了管电压160kV1m分辨率 开放管X射线发生装置。实现高压发生器的一体化,无需进行高压电缆掩护。自动调度功能,使改换灯丝更加简便。※1m分辨率:JIMA Chart测试
X射线检出器:搭载300万像素平板检出器。
5轴载物台除搭载样品的载物台的XYZ轴外,检出器也会倾斜、旋转。5轴联动,支持所有角度的检讨。
X射线防护箱屏蔽向设备外部泄露的X射线(泄露到外部的射线低于1Sv/h)。具有正面门扉锁定机构, X射线照射时,正面门扉无法打开。同时,具有联锁机构,门扉打开的状态下,5轴载物台不移动。
碰撞检测传感器X射线检出器的周围装有碰撞检测传感器,紧急时(样品碰撞时),驱动系统停滞事情。
配套仅在AC200 V10 % 1.5 kVA(接地电阻100以下)的条件下可动作。无需供应空气、冷却水等。
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