长鑫存储申请基板处理系统专利能担保在静电释放后电子可以迅速导走从而防止粘片

专利择要显示，本公开涉及一种基板处理系统、传送装置、传送臂与传送方法，传送臂包括本体、静电吸附组件以及接地组件。
静电吸附组件用于通过静电吸附力将基板吸附固定于承载面上。

接地组件用于与基板上对应于静电吸附组件的部位电性打仗，以开释基板表面上静电感合时所产生的电荷，接地组件还用于与电流测试仪器电性连接。
可以通过接地组件接地，该电荷经接地组件导流接地的过程中产生电流，电流利过电流测试仪器获取，并能根据该电流的大小相应判断出承载面上是否放置有基板，以及能担保在静电开释后电子可以迅速导走，从而防止粘片。
不仅能够起到吸附固定基板的浸染，还能用于判断承载面上是否有基板，同时装置的构造不至于过于繁芜，本钱低廉。

本文源自金融界