这项成都技能 实现新型显示家当关键材料国产替代

成都企业自主研发的首片国产化G11高世代显示面板用掩膜版

当您拿起手机或者平板电脑，又或者打开电视，畅快不雅观影的时候，可曾想过这色彩斑斓的影像是怎么来的？答案就在一块分外的石英玻璃——掩膜版身上，它是新型显示家当不可或缺的关键原材料。

在成都，有这样一家科创企业，一举冲破国外厂商在该领域的垄断，实现掩膜版国产化。
8月18日，走进成都路维光电有限公司，一探这项冲破国外垄断的“成都技能”。

冲破国外垄断 成都企业创下海内多项行业首个

在高新西区的路维光电办公大楼，直立着一块巨大的玻璃。
它高1.62米、宽1.78米，数百万元的身价，彰显其分外身份——中国自主研发的首片G11高世代显示面板用掩膜版。

2019年1月23日，G11掩膜版的成功下线，大幅提高了高世代掩膜版的交货率，冲破国外企业在同类产品的垄断。
国外企业同类产品在中国的报价，从一张近千万元，直降50%以上。

中国新型显示家当以及半导体行业，步入以海内家当链供应为主的新阶段，发展速率倍增。
数据显示，2023年环球新型显示行业百口当链业务收入为1876亿美元，中国占比近50%。
个中显示面板业务收入1045亿美元，中国占比55%。

亮眼数据的背后，有成都技能的支撑。
“我们是海内首家、天下第四家节制G11掩膜版生产技能的企业，也是海内唯一一家可覆盖G2.5-G11全世代产线的本土掩膜版企业，可配套下贱平板显示厂商所有世代产线。
”路维光电集团研发总监兼研发中央主任司继伟先容，同时该企业也是海内第一家打破G11高世代掩膜版光阻涂布技能，第一家实现高精度半色调（HTM）掩膜版、灰阶掩膜版（GTM）生产的企业。

G11掩膜版下线 我国掩膜版行业迈入国际前辈行列

没有“底片”，胶片相机将无法冲洗照片，掩膜版的详细功用，就像“底片”，是微电子制造过程中的图形转移工具或母版，属光刻工艺中的关键材料。
司继伟先容，掩膜版广泛运用于平板显示、半导体IC、触摸屏等诸多行业，且不可或缺。
“每年环球掩膜版家当产值不过50亿美元旁边，撬动的却是下贱万亿级别的家当。
”

要洞察掩膜版的奥妙，须要将它对着光源凑近了细看。
差异于普通玻璃，掩膜版表面有一道道细微的“条纹”，组成各种各样的微不雅观电子线路图形。
数块掩膜版叠合利用，就构成一套繁芜的微电子线路图，平板显示等厂商就可据此源源不断地生产出电子数码产品。

将“条纹”刻画在石英玻璃上的，是激光束或电子束，刻画图形的计量单位是微米和纳米。
“条纹”刻画的精度高低、刻画的尺寸大小，是考量掩膜版生产工艺的主要指标。
“同样风雅的工笔画，画在墙面大小的纸张上，自然比画在一张A4纸上难太多了。
”司继伟举例说。
这也是那块近3平方米的G11高世代显示面板用掩膜版，能站在环球掩膜版生产技能之巅的缘故原由所在。
G11高世代显示面板用掩膜版的成功下线，进一步加速了终端大屏显示技能的遍及，使之走向千家万户，我国掩膜版行业正式迈入国际前辈行列。

与客户为邻 成都超前家当布局让企业未来可期

在成都路维光电总建面50000平方米的建筑群中，有近30000平方米是各种掩膜版的“产房”。
这个中，有5000平方米是清洁度达10级的“清洁厂房”。
所有进出厂房的物料及事情职员，需经2级到3级的风淋除尘，确保不带入一粒眇小的灰尘。

由于掩膜版的生产工艺达到纳米级，一粒肉眼都看不见的灰尘，对生产带来的安全隐患都是极大的。
在这里，巨大的机器臂自动抓取玻璃基板送入智能生产线，10余位被“无尘服”包裹得严严实实的事情职员全程值守。

1997年，路维光电在深圳成立，2017年落子成都。
2018年3月动工的高世代掩膜版生产基地，仅用了10个月韶光便实现首片产品下线。
“成都对高科技家当的支持力度以及干系家当链的整体布局超前思维，我们是感同身受的。
”路维光电董事、实行总裁、董事会秘书肖青先容，生产基地所在的成都电子信息家当功能区内，京东方、深天马等与成都路维光电深度互助的企业就在近旁。

站在路维光电办公楼窗前，就能看到数百米开外在建的京东方投建的海内首条第8.6代AMOLED生产线。
待其建成，将成为环球技能最前辈、产能最大的中尺寸OLED显示器件生产基地。
在这里，家当链高下游、旁边岸的科创企业“扎堆”，产能的持续提档升级，让成都路维光电等已手握核心技能的微电子行业企业，未来的发展拥有更多可能。