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一、电子无尘车间标准
1.电子制造厂万级清洁室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)
2.电子制造厂清洁室垂直流清洁室满布比不应小于60%,水平单向流清洁室不应小于40%,否则便是局部单向流了。
3.电子制造厂清洁室与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气清洁度的清洁区与非清洁区之间的静压差不应小于5Pa
4.电子制造行业万级清洁室内的新鲜空宇量应取下列二项中的最大值:
5.补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空宇量之和。
6.保给清洁室内每人每小时的新鲜空宇量不小于40每立方。
二、电子无尘车间布局
(1)平面由工艺决定,电子工业清洁厂房的工艺布局应适应电子产品发展的灵巧性,知足产品生产工艺改造和扩大生产的需求。
(2)主体构造宜采取大空间及大跨度柱网,不宜采取内墙承重体系。
(3)大型电子工业清洁厂房常采取上技能夹层、下技能夹层这种“夹心”式多层布局。
(4)应考虑大型生产工艺设备的安装、维修哀求,设置必要的运输通道和不影响清洁生产环境的安装口或检修口。
(5)电子工业无尘车间按二级耐火等级设计。
(6)特种气体的储存和分配间应有耐火隔墙与无尘车间(区)分开,该墙耐火极限不低于1H。有毒的硅烷或其稠浊物气瓶存区至少三面是洞开的,气瓶与周围构筑物或围栏之间的间隔应大于3M,储存区设置的雨篷应不低于3.5M。
(7)电子工业无尘车间的装饰材料不得采取开释对电子产品有影响物质的材料。
(8)电子工业无尘车间许可设空气吹淋室,这是和一样平常生物无尘车间不同的。吹淋室应与清洁事情服换衣室相邻。单人吹淋室按最大班人数为30人一间设计,当事情职员超过5人时,应设歪路,当人数太多或为了缩短通过韶光,也可设遂道式吹淋室。
(9)对付高等别无尘车间,为了尽可能不影响气流的单向性、平行性,照明灯具采取净化泪珠形灯具。
(10)电子工业无尘车间常要根据生产工艺哀求设置防静电环境,以便抑制静电的产生,将已产生的静电迅速、安全的打消。
(11)电子工业无尘车间友有对防微振的分外哀求,在厂地环境上应避开振动源。
(12)电子工业无尘车间除有一样平常给排水哀求外,对超大规格集成电路的用水也有标准。
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