“制造业高质量成长”系列调研之五：集成电路装备周详零部件国产化为攀登制造业“珠穆朗玛”供应基石

随着5G、人工智能和物联网的发展，我国对芯片的需求将进一步走强。
芯片广泛运用于社会生活的各个方面，像能源、交通、运输、原材料等根本家当一样，是支撑社会经济运行的根本，如果根本家当供给能力不敷，国民经济增长将受到影响。
因此，想要实现经济真正发展，我国芯片必须摆脱对外的高度依赖。

IC装备家当是生产半导体器件、集成电路芯片和平板显示器的专用生产设备，表示一个国家当代装备制造业水平和实力的主要标志，因霸占了科技制高点，被称为制造业的“珠穆朗玛峰”。

集成电路体系繁芜，对运用材料纯度极高，在6个9乃至10个9以上，即材料纯度须要达到99.9999%乃至99.99999999%。
此外，集成电路有一个基本特色：每一代技能的尺寸缩小1/3，对应全体集成度提高4倍。
因此，IC设备企业对关键零部件在原材料的纯度、质量稳定性等方面哀求极高，没有知足IC装备企业工艺哀求的零部件供应，IC装备家当发展无法想象。

“富创生产险些覆盖集成电路的所有零件，来图加工，以我们的组织加工能力保质、保量、按时完成零件生产。
”12月6日，跟随“制造业高质量发展”网络主题活动来到位于辽宁沈阳的富创精密设备有限公司，公司财务副总江山向先容了我国IC装备零部件精密制造现状。

富创生产车间

2008年，我国将“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”列入国家科技重大专项(简称“02专项”)并开始履行，集成电路高端装备和材料从无到有，形成良性发展的家当链和自主知识产权体系。

“集成电路体系好比一个金字塔。
在专项履行之前没有形成金字塔；专项履行之后我们做出了集成电路的材料，有了装备、工艺和封装，金字塔搭起来了。
” 2017年的一场发布会上，国家科技重大专项技能总师、中科院微电子研究所所长叶甜春这样先容集成电路专项履行取得的攻关成果。

举国发展集成电路的背景下，富创出身了。
通过02专项的支持，富创实现了IC装备精密零部件国产化的从无到有，形成了做事我国IC装备的基本能力，支撑了集成电路装备企业长足发展，关键零部件、核心技能冲破了国外对中国集成电路家当的技能封锁。

“零件生产须要繁杂的认证。
”江山说，“先要通过第三方机构对企业生产体系认证，其次是首批生产1个零件，经由6个月认证周期，通过之后进行小批量生产5-6个零件，还要经由6个月认证，再次通过之后才能进行大批量生产。
” 富创生产的零件已经得到日本、美国等国厂商认证。

人工智能技能为经济发展注入新活力，制造业是人工智能技能的主要运用领域，推动制造业转型升级，提升国际竞争力。
人工智能对IC装备零件制造的影响同样巨大。
集成电路关键设备零部件具有多品种，小（微）批量、高精度、制造过程高度繁芜等加工特点，智能产线、数字化仿真、协同与集成等智能化手段建成集成电路关键设备零部件柔性数字化车间，能够有效降落整机企业本钱，提高竞争力。

在国家智能专项项目支持下，富创已建成数字化车间，实现零件柔性、高效、智能化生产。
江山说，富创要做的便是给IC装备供应零件支撑，降落IC装备零件本钱，推动国产化替代趋势。

须要承认的是，我国集成电路还勾留在赶超阶段，海内产品无法完备知足市场需求。
同时，集成电路作为环球化家当，无论主动与否，海内家当都要参与环球竞争。
江山说，富创在给国内外IC装备企业供应零件的同时，积极向日本等国学习，强化自己的技能。

（编辑：涂恬 李海鹏）

来源：中国日报网