隆基绿能申请物理气相沉积的水汽控制专利实现腔体内水汽浓度的精确控制

专利择要显示，本申请公开了一种物理气相沉积的水汽掌握方法、装置、设备和介质，一样平常涉及打算机技能领域。
该方法包括：当用于实行物理气相沉积的载板进入腔体后，确定腔体内的水汽浓度实时值、水汽浓度实时值的变革速率和载板在腔体内的预估剩余事情时长；根据腔体内的水汽浓度实时值和变革速率，确定预估剩余事情时长内腔体内的预估水汽浓度结果；在预估水汽浓度结果超出目标水汽浓度范围的情形下，确定调度腔体内的水汽浓度后使得所述水汽浓度保持在所述目标水汽浓度范围内的目标调度水汽量，并根据所述目标调度水汽量，通过目标调度办法调度所述腔体内的水汽浓度，使得所述腔体内的水汽浓度保持在所述目标水汽浓度范围之内。

本文源自金融界