清华大年夜学申请高能电子显微系统专利解决商用直流电镜能量低、体历年夜、流强低、能散大年夜的问题
编辑：[db:作者] 时间：2024-08-25 02:11:43
专利择要显示，本发明公开了一种基于高重频微波加速的高能电子显微系统，该系统对应的方法包括：利用电子枪产生初始电子束；对初始电子束进行压缩或加速，得到第一电子束；对第一电子束中的电子进行能散降落或加速操作，得到第二电子束；对第二电子束电子的横向尺寸进行整形处理，得到第三电子束；利用探测器对第三电子束中经由待探测的样品后散射的电子进行成像。本发明可办理商用直流电镜能量低、传统高能直流电镜体历年夜、微波加速电子显微系统流强低、能散大的问题。
本文源自金融界
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