手机镀膜、机壳材料……你见过电子产品大年夜都离不开这种设备制造

在过去的40年里，扩散泵是真空得到设备中发展和研究比较多的产品。
本文旨在概述扩散泵在海内发展的进程、现状和前景。
希望对海内扩散泵产品的持续发展起到推进浸染。

扩散泵是利用从伞形喷嘴喷出的高速事情介质蒸汽射流，携带扩散到蒸汽射流里的被抽气体，从而实现抽真空的一种真空泵。

扩散泵的事情事理是：由电加热器（电炉）将装在泵腔（油锅）内的液态事情介质加热，使其变成蒸汽；蒸汽通过安装在泵腔里的泵芯喷嘴高速喷出，形成低密度、高速率的蒸汽射流；被抽气体通过扩散进入蒸汽射流中，被下一级蒸汽射流带走，末了由前级泵排出，而事情蒸汽到达水冷的泵壁，冷凝成为液态沿着泵壁流回油锅。
在油锅里重新被加热变成油蒸汽。
这样周而复始的事情，形成了扩散泵的正常抽气过程。

在真空泵的大家族中，扩散泵属于高真空得到设备。

扩散泵的优点有：构造大略、无运动件、噪音很小、利用方便、掩护随意马虎、在高真空段有较大抽速，单位抽速所需制造本钱较低等，因此，其运用面很广。

扩散泵的紧张缺陷是：返油、能耗高、热效率低。
提高加热效率、降落能耗、降落返油率是多少年来扩散泵须要办理而至今尚未完备办理的紧张问题。

扩散泵的分类方法比较大略——

按利用的事情液可以分为油扩散泵和汞扩散泵；

按制造扩散泵的材料可以分为金属扩散泵和玻璃扩散泵；

按泵体形状可以分为直腔和凸腔扩散泵；

按扩散泵的事情范围可以分为高真空、超高真空扩散泵和增扩泵（不同于增压泵）；

按加热器放置位置，可以分为内加热泵和外加热泵，以泵壳为界，放在泵壳内的为内加热器，放在泵壳外的为外加热器。

多年来，海内研究、设计、制造、利用扩散泵的单位和个人很多。

扩散泵的研究事情紧张集中在：理论研究、构造研究、性能研究、测试方法研究等方面。

扩散泵的设计事情紧张是：努力提高扩散泵的抽气性能、降落生产本钱、提高热效率、节约能源。

扩散泵制造追求的是：工艺大略、省工省料、降落生产本钱、提高可靠性。

扩散泵的利用紧张集中在：真空镀膜设备、真空冶金设备、真空热处理设备、电子产品排气设备等，在高真空大抽速的需求场合扩散泵是不可替代的产品。

用户希望扩散泵性能优秀、运行可靠、价格低廉、操作大略、维修方便。

理论研究、设计制造、运用单位共同希望的是：提高扩散泵的抽气性能。
紧张包括有：极限真空度、抽气速率、最大出口压力、返油率。
提高抽气性能紧张研究泵的抽气理论、泵芯构造尺寸、泵体形状、事情介质、加热、冷却办法、温度等。

降落生产本钱紧张考虑：泵的构造、材料、加工工艺。

提高热效率、节约能源紧张是办理加热、冷却、防止热丢失方法等。

目前，海内扩散泵已经形成标准化、系列化。
依据扩散泵进气口直径，从K-80到K-1200分成16种规格，对付所能达到的性能给出了详细指标。
同时给出了实现这些性能指标的测试方法。

本文节选自：《扩散泵的现状及发展趋势》

原文首发于：《真空》杂志2019年第5期

本文作者：张志军，张世伟，韩进，徐成海

作者单位：东北大学机器工程与自动化学院