编辑:[db:作者] 时间:2024-08-25 02:57:46
萤石是含氟特种气体紧张质料,中国又是萤石大国,由于这些,以是……
从数量来看,我国含氟电子特气公司数量弘大;
从产能来看,我国含氟电子特气只有更大,没有最大;
从品类来看,你能想到的险些所有含氟电子特气,中国企业都能做。气体圈子第八届特气大会首次在中国市场公开分享用于半导体刻蚀工艺利用的电子级PF3。我原来以为是个新东西,后来一聊,天津某公司10年前就已经做出来了,只是当时没有太大的市场需求。上海半导体展再次见面时,该公司老板说他们已经做了数吨级的产品方案,目前已经有几家国际用户积极推进产品验证。
以是说,含氟特气已经没有太多新东西玩了。那么,特气公司下一步的发展方向是什么呢?
此时,国产化率相对较低的硅基材料走向台前。
硅基特气和先驱体紧张用于半导体集成电路存储器和逻辑芯片制造的关键工艺,也是专业特气公司的发展方向。
2016年,雅克科技收购韩国半导体先驱体材料企业UP Chemical,开始进军半导体先驱体行业。
2020年,南大光电决定购买DDP公司名下新型硅先驱体系列的19项专利资产组。
正帆科技表示,半导体先驱体市场空间广阔,公司持续加大半导体先驱体研发力度,在2022年底实现了打破。
随着半导系统编制程技能的迭代,氨硅系列先驱体和碘硅系列先驱体引发关注。例如,双(叔丁氨基) 硅烷(BTBAS) 、双(二乙氨基) 硅烷(BDEAS) 、三(二甲胺基)硅烷(3DMAS) 、三甲硅烷基胺(TSA)和二碘硅烷等,二碘硅烷被视为从10nm线宽超过到6nm线宽制程的关键硅源物质。
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