编辑:[db:作者] 时间:2024-08-25 03:18:46
前道光刻机,紧张是指将芯片电路图,光刻到硅晶圆上的光刻机,也便是芯片制造的前道工序号须要的光刻机,也称之为前道光刻机,个中又分EUV光刻机、DUV光刻机,UV(i-line)光刻机。
而后道光刻机,同是用于芯片制造的后道工序,比如芯片封装等,其余还有光刻胶制造也须要后道光刻机等。
相对而言,前道光刻机更难,更为主要。同时对精度哀求也越高,以是前道光刻机又分EUV、DUV、UV光刻机。而DUV光刻机按照精度,又分为ArFi光刻机,用于45-7nm;ArF Dry用于65nm,KrF用于180nm等等。
目前环球能够制造光刻机的厂商,真不多,可能也就4家,分别是ASML、日本佳能、日本尼康,还有上海微电子。
那么这4家各清闲市场表现如何?近日,有机构统计了2021年环球前道光刻机的发卖情形,一共是478台(注:数据真假未知,但以机构的有名数,估计不会有假)。
如上图所示,去年环球一共售出478台前道光刻机,个中ASML拿下309台,占比为65%,日本厂商拿下169台,占比为35%。而中国厂商的份额为0。
再看看5种分类,可以看到EUV光刻机是ASML独占100%,而DUV中,精度更高的ArFi、ArF Dry均是ASML说了算,占比分别96%、88%。
日本厂商则在低真个KrF、UV(i-line)上有一定上风,特殊是最低真个UV光刻机上,占了大头。
可见,全体前道光刻机市场,还是ASML说了算,日本厂商,拿走的是ASML看不上的低端市场,而国产连低端市场都抢不到。
为何国产光刻机,出货量为0?首先是上海微电子目前最前辈的仅为90nm,也便是KrF、UV阶段,处于低端,这里竞争大,有4家厂商在竞争,ASML、佳能、尼康都有。
而更主要的是,芯片的前道工序非常主要,并且是几百种设备相互合营,而这些生产设备以国外的产品为主,以是国外的光刻机能够相互合营兼容,这是大家多年来互助的结果。
而国产光刻机的大概能用,精度也达到了,但晶圆厂们一样平常情形下可不会冒险,在有国外的、能兼容匹配的国外设备可买的情形下,就不会买国产的,一旦出了问题,就丢失惨重。
可见,国产光刻机,不仅要办理本身的产品性能问题,还要想办法融入全体供应链中,才能够真正崛起。
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