徐州博康：解锁光刻胶全家当链 打造国产替代领军品牌

日前，徐州博康董事长傅志伟向证券时报e公司表示，光刻胶的制备是高度风雅化掌握的工艺，公司着力于打通百口当链各个环节，从原材料向上打破半导体光刻胶，目前进展顺利；今年公司重点在于推进客户导入，努力实现公司高端光刻胶产品在12寸晶圆厂客户真个打破与放量。
未来公司将联合中科院等科研院所，支配前瞻性、先导性光刻胶材料新分支。

（图中为徐州博康董事长傅志伟 供图：徐州博康）

打通光刻胶百口当链 发力高端Arf与Krf光刻胶

随着晶圆厂掀起扩产潮，光刻胶市场空间有望进一步开释。
虽然光刻胶叠加干系配套材料在半导体材料占比不到10%，却起着“四两拨千斤”的浸染，直接影响芯片的良率，而单体是光刻胶曝光显影功能的原始载体，就像搭建乐高的积木零件，直接决定着光刻胶的性能，本钱占比高达60-80%。

“单体是从分外小分子的提纯而来，对杂质清洁度哀求是光刻胶的10倍以上。
”傅志伟先容。
徐州博康前身上海博康从2005年开始研发单体，并节制了单体提纯的前辈工艺，能够把单体的金属离子杂质含量掌握在1ppb以下。
通过7年不懈努力，徐州博康于2012年景为了国际光刻胶巨子JSR（日本合成橡胶公司）唯一非日本本土的单体供应商，目前覆盖80%以上的单体品种。

基于对单系统编制备工艺的娴熟节制，徐州博康对光刻胶制备各个环节逐一占领，承担起国家“02专项”中的“ArF光刻胶单体产品的开拓与家当化”的子课题，并得到成功验收。
如今公司已开拓出数十种高端光刻胶产品系列，包括193nmArF湿法光刻胶、ArF干法光刻胶，248nmKrF正负型光刻胶、KrF厚膜光刻胶、365nmi线光刻胶以及电子束胶等，覆盖IC集成电路制造、IC后端封装、化合物半导体等市场运用领域。

目前海内用于6英寸晶圆制造的g线、i线光刻胶基本可以知足自给，而用于8英寸、12英寸晶圆的高端KrF、ArF光刻胶则高度依赖入口，这也是徐州博康正在积极布局的方向。
傅志伟先容，光刻胶从单体提纯、树脂提纯到配胶等工艺环节，是个高度风雅化掌握的过程，环环相扣，“外洋厂商常日都是五六个厂商高度分工，环节是相互独立的，之间还有‘know - how’隔断；而博康做的是打通各个环节的‘know-how’。
”

2021年，徐州博康开始在半导体光刻胶领域全面发力，整年光刻胶收入同比增长177%，产品立项44款，个中九成产品针对12寸晶圆厂客户的需求定制开拓。
个中，运用于通孔工艺的ArF湿法光刻胶，已经能够运用至40nm/28nm工艺节点，是海内第一款国产化的ArF湿法通孔光刻胶，还有4款ArF胶正在客户端进行导入测试；K胶产品中有一款金属剥离负胶，紧张针对lift-off工艺，底部倒角可控，博康是目前海内唯一可供应此类KrF产品的公司，还有8款KrF胶正导入测试；同时，公司还自主研发成功了超厚膜光刻胶（10-15um），完成了内部的测试验证。
目前公司的研发职员也在迅速扩充，估量到今年底将近200人。

（光刻胶样品展示 供图：徐州博康）

加速产品验证与导入 实现12寸客户0到1的打破

去年是徐州博康光刻产品技能与工艺不断打破的一年，今年则是博康加速客户端光刻胶产品验证与导入的关键之年。

“2021年，博康已经实现约2000万元光刻胶发卖，紧张以KrF光刻胶为主，ArF光刻胶占小部分，今年有把握实现发卖上一个大台阶。
”傅志伟表示，今年公司的重点在于加速客户端验证和导入，操持每家12寸大厂至少导入3-5个品种，年内实现约30种产品验收以及10类以上品种生产，部分产品实现量产采购，未来三年操持覆盖所有国产半导体光刻胶品种。

同时，为了保障下贱客户的稳定供应，徐州博康新产线逐步投产，并向大厂客户外派驻场光刻胶工程师。
资料显示，邳州新工厂方案1100吨光刻材料产能，个中光刻胶的产能有3.5万-4.5万加仑，估量新工厂完备达产后产值20亿元，个中光刻胶单体10-12亿元、光刻胶4-5亿元。

傅志伟先容，考虑百口当链布局，光刻胶从培植到投产周期须要2-3年。
邳州新厂从2021年下半年开始试产，今年1月份正式拿到正式生产容许，产能持续爬坡。
虽然今年新冠疫情反复下，物流原材料运输受阻，新工厂6月产值已经达到5000万元，7月估量7000多万元，估量下半年单月发卖将过亿元；守旧估计，明年新工厂产值将打破10亿元，整体工厂达到满产状态。

徐州博康的发展也吸引了家当成本竞相追逐。
工商信息显示，去年8月，华为通过旗下投资公司哈勃科技成为徐州博康第四大股东，持股9.8%。
据媒体宣布，哈勃投资金额达3亿元，系其布局半导体材料领域中最大的一单笔投资。

光刻胶也是上市公司华懋科技打造的第二增长极。
去年，华懋科技通过行使借款转股以及追加投资，合计投资8亿元持有徐州博康26.21%股权；其余，华懋科技子公司与徐州博康等共同成立东阳华芯，方案在浙江省东阳市培植年产8000吨中高端半导体光刻材料工厂，年产值将超20亿元。
7月18日，华懋科技董事会已审议通过该联营企业项目。
据测算，项目达产后年产品发卖收入为21.66亿元（不含增值税），年均净利润为3.41亿元，投资回收期（静态）为6.97年(含培植期)，财务内部税后收益率将达到16.35%。

从厂区定位来看，东阳工厂产品发卖定位以光刻胶、光刻胶树脂及赞助材料为主，运用在逻辑芯片及封装领域；徐州博康邳州新工厂目前产品产能以光刻胶单体、光刻胶、医药中间体为主，紧张运用在存储芯片和封装领域，两厂紧张产品各有侧重，相互补充。

（徐州博康邳州工厂 供图：徐州博康）

产能扩展 加速光刻胶国产化进程

“邳州工厂的产能是不足的，浙江东阳工厂还在设计阶段，目前推进顺利。
”傅志伟表示，除了现有工厂要稳扎稳打之外，公司还操持在华北地区、华中地区和华南地区设厂，未来产能将扩大至少五倍，博康将根据扩产方案有针对性的借力成本市场融资，加速推进光刻胶的国产化进程。

不过，近期二级市场半导体板块降温，估值回调，乃至涌现一级二级市场估值倒挂的征象。
对此，傅志伟表示半导体行业估值正在“挤泡沫”，一定程度上影响了家当投资信心，但他仍旧保持乐不雅观，“当前半导体家当国产化率还处于很低的水平，还是要保持耐心，好在有些家当界的投资人还是比较复苏的。
”

凭借对光刻工艺的节制，傅志伟也布局了与光刻胶息息相关的设备领域。
傅志伟实际掌握的另一家公司影速集成，与中科院微电所互助已实现半导体激光直写光刻机、高端PCB用LDI设备等领域的家当化，拥有环球最高产能的双台面激光直接成像设备，系中国唯一能够制造“半导体纳米级制版曝光设备”的企业，并有操持上岸成本市场。

傅志伟向表示，光刻工艺调试须要光刻胶和设备的协同，还可以布局像3D打印等前沿光固化工艺，未来公司还将与中科院等科研院所互助，前瞻性布局光刻胶赛道的新分支。