电子行业对无尘车间具体有哪些要求：附案例

由于生产工艺种类繁多，对清洁度等级哀求也不同，高得很高，低得很低；对粒子粒径掌握的哀求也不同，范围约为0.1~5um；对温湿度掌握的哀求相对较 高，如集成电路前道工序一样平常哀求室内温度基数为22℃（精度0.1~1℃），相对湿度基数为40%（精度2~5℃；正压值哀求的梯度级别，随着清洁度的变革而从高到低变革，差值5~10Pa。

电子行业无尘车间的冷负荷比其他行业的无尘车间大很多，单位冷负荷达400~500W/㎡很常见。
由于冷负荷大，一样平常情形下，冬季也须要供冷，这是电子行业的特点。

电子行业生产工艺过程产生的有毒有害气体种类繁多，且量也大，以是须要的排风量和新风量也大。
新排风的节能方法也是行业特点之一，排放前要做处理，使排风负荷环保哀求。

电子行业生产工艺有抗静电、抗微振的哀求，并且大宗气体和特种气体种类多，对纯度和清洁度哀求高：

1.电子制造厂万级清洁室内的噪声级(空态)：不应大于65dB(A)

2.电子制造厂清洁室垂直流清洁室满布比不应小于60%，水平单向流清洁室不应小于40%，否则便是局部单向流了。

3.电子制造厂清洁室与室外的静压差不应小于10Pa，不同空气清洁度的清洁区与非清洁区之间的静压差不应小于5Pa。

4.电子制造行业万级清洁室内的新鲜空宇量应取下列二项中的最大值；

5.补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空宇量之和。

6.担保供给清洁室内每人每小时的新鲜空宇量不小于40m3。

十万级电子车间

补充：某电子厂房净化空调系统论述付

一、工程概述本工程位于江苏，厂房为单层钢构造，总建筑面积约14 500 m2。
净化空调面积6 880 m2（不含参不雅观走廊及赞助区）。
根据工艺哀求，清洁区清洁度分别为万级、千级、百级，百级面积270 m2，千级面积5 960 m2，万级面积650 m2。
温湿度哀求为22 ℃2 ℃和55%5%，百级按照面风速0.25 m/s打算风量，千级和万级的换气次数则为80次/h和35次/h。

二、净化空调系统形式

2.1 空调形式选择

全体厂房分为3种净化级别，分别为万级、千级、百级，万级区紧张为镀膜机室，千级区有丝印车间、模组/贴膜车间、千级高架区、千级未高架区，百级有镀膜车间、丝网制作房。
个中，千级高架区、百级高架区、千级未高架区、百级未高架区均采取MAU＋FFU＋DC的空调形式，而丝印、模组、贴膜车间等千级区和镀膜机室等万级区则采取AHU＋FFU的空调形式。
MAU为新风机组，对新风履行了初效、中效、亚高效过滤，其功能段为新风、回风稠浊段→G4初效段→F8中效段→冷水盘管段→热水盘管段→电极加湿段→风机段→均流段→H10亚高效段→送风段。
DC为干表冷盘管，在清洁室的回风夹墙中设置干冷盘管，对清洁室进行等湿降温，以是通过干盘管的冷冻水温度稍低于清洁室的露点温度，担保清洁室空气通过干盘管时不结露。
FFU为风机过滤器机组，在清洁室的技能夹层支配FFU，将送进来的空气通过FFU中的高效过滤器送到清洁室内。
AHU为净化空调机组，全部的净化空调送风均在净化空调机组内进行净化和热、湿处理，然后送至清洁室，清洁室的回风经回风口、回风管再接回到空调机房的净化空调机组，与新风稠浊后重复进行净化和热、湿处理。

2.2 两种空调形式的空气处理过程

2.2.1 MAU＋FFU＋DC的净化空调送风方案：新风机组MAU将新风处理到清洁室热湿比线与相对湿度95%线的交点以下，不仅将本身的湿负荷去掉，还包袱清洁室内产生的湿负荷。
而MAU热处理不敷部分的干冷负荷将由设在清洁室下夹层或吊顶上的干盘管来补充。
由于干盘管设在FFU循环空气通过的吊顶上或夹道内，因此，干盘管所填补的干冷负荷被循环空气带到清洁室内。
此方案中，清洁室的相对湿度由MAU来担保，清洁室的温度由DC来担保，清洁室的清洁度由FFU来担保。

2.2.2 AHU＋FFU的净化空调送风方案此方案中，净化空调系统的热、湿负荷（清洁室内产生的热、湿负荷及新风的热、湿负荷）全部由设在空调机房内的空调机组AHU来包袱。
AHU的送风量是肃清本系统余热、余湿的空调送风量（个中包括全部新风和部分回风，但远远小于担保清洁室清洁度等级的净化送风量），它应能确保清洁室内的温度和相对湿度恒定。
而该清洁室的清洁度由设在清洁室吊顶上的FFU来担保。
此方案中该当把稳的是，FFU运行过程中所产生的热量也应由AHU来承担。

三、 空调冷热源这次工程为一期工程，根据负荷打算及二期预留，冷源主机采取3台制冷量为1 800 kW、供回水温度为7/12 ℃的水冷螺杆式冷水机组，用于空调机组的夏季制冷及作为干盘管供回水系统中板式换热器的冷源换热端。
热源主机为一台制热量为2 400 kW的空气源热泵机组，为空调机组夏季再热和冬季加热所用。
哀求进入干盘管冷水的进水温度高于清洁室露点温度1～2 ℃，确保其供回水温度为14/19 ℃，因此须要采打水-水板式换热器设计干盘管供回水系统。
在热交流器冷源真个冷冻水供回水管道上安装电动二通阀，通过DDC的掌握，担保干盘管的供回水温度恒定在设计的范围内。
干盘管的冷供水系统采取异程式的办法，清洁室内回风墙中支配有111台干盘管，共分为15组，每一组设置一个电动比例积分阀，根据所对应的范围反馈的清洁室温度来调度比例积分阀的开启度，从而使温度掌握知足设计哀求。

四、自动掌握系统本期工程采取DDC掌握系统，并且与机房总站连接，可以实现局部调控和机房总站对运行状态的掌握和不雅观测。
清洁室中的干冷盘管共分为15组，每一组采取一个比例积分阀掌握，每组所对应的区域温度采取多点检测，采集多点的温度，取均匀PID值掌握比例积分的开启度，调节室内温度。
湿度也采取多点检测掌握，采集多点的湿度，取均匀的PID值来掌握新风机组或空调机组冷冻水电动比例积分阀的开启度，或者掌握电极加湿阀门的开启度，从而将清洁室的湿度掌握在设计范围内。
新风机组和空调机组采取变频掌握，根据清洁室实际利用情形，通过电动风阀的开与关，检测风管内的压力参数，掌握风机转速，调度新风量，达到节约能源的目的。

五、总结随着清洁技能和清洁设备的不断发展与进步，FFU风机的效率不断提高，耗电量不断降落，整体价格不断低落，其初投资也与其他类型的送风方案基本持平，但运行费却大大节省。
大面积高净化级别的清洁室宜采取FFU＋DC＋MAU的空调形式，可以节省空调机房面积，系统掌握灵巧。
末端为FFU的空调系统中新风机组或空调机组的空气过滤宜采取三级过滤，分为初效、中效、亚高效过滤，以延长FFU中高效过滤器的利用寿命。
只管即便采取将新风处理到室内露点温度的空气处理办法，减少因对室内进行温度补偿而造成的能源摧残浪费蹂躏。