捷佳伟创：国内首台完全自立研发的电子级硅芯清洗设备即将交付

据悉，此款硅芯洗濯设备是一款用于硅料端制程的硅芯的堕落洗濯设备，用于洗濯硅芯表面有机物、氧化物和金属离子，采取碱洗、酸洗、超声、性能水等工艺，产品可用于高纯光伏硅片和半导体硅片的生产制程，洗濯后总表金属≤0.2ppbm。

▲ 图源 捷佳伟创官方"大众号

IT之家从官方"大众年夜众号得知，该产品的紧张技能特点如下：

与德国 Rochling 协力开拓耐氧化，耐高温材料用于槽系统编制作。

结合国外成熟工艺与性能水洗濯工艺，洗濯能力更强。

内部流场的全新设计，搭配更高效 FFU、抽风通道及酸碱隔离装置，内部更清洁。

底部龙门式 Robot 设计，运载更稳定，运动部件产生的 Particle 可更快排出设备外。

硅芯载体优化，更稳定的构造，更小的打仗面积合营旋转机构，洗濯更彻底。

槽体及槽内零件多采取折弯制作工艺，减少犄角疙瘩及焊接内的藏污纳垢。

全设备设置在千级清洁室生产。

官方表示，长期以来，电子级硅芯硅料洗濯设备市场份额都被外国厂商霸占，捷佳伟创作为太阳能光伏电池设备行业领军企业及半导体设备制造商，将“坚持以研发制造一流专业设备，推动海内干系行业发展为己任”。

捷佳伟创流传宣传，目前官方已实现表金属 0.5ppbw 以上等级的电子级硅料批量出货，2024 第一季度将推出 0.1ppbw 以下的产品。

捷佳伟创声称，未来公司将连续秉承“技能领先，管理领先，做事领先”的发展计策，连续精进光伏电池生产设备及半导体湿法洗濯设备研发，并向更广阔的产品领域和更丰富的技能路线连续发展，为客户供应技能领先、质量过硬、做事严密的产品。