上海精测半导体技能取得一种光束孔调节装配专利削减了传统传念头构带来的误差影响

专利择要显示，本发明公开了一种光束孔调节装置，涉及光学或带电粒子束光学领域，包括底座，具有通孔；底座与第一贯线驱动源连接以能沿 X 方向移动；主动模块，固定在底座上；主动模块具有第一柔性形变部，第一柔性形变部与第二直线驱动源连接以能沿 Y 方向产生形变；和从动模块，固定在底座上；从动模块具有与第一柔性形变部侧边打仗的第二柔性形变部，第二柔性形变部上开设有光束孔，且光束孔能够与通孔连通；第一贯线驱动源使令底座运动完成光束孔向 X 方向移动，第二直线驱动源使令第一柔性形变部形变以使得第二柔性形变部在 Y 方向产生形变；通过以上构造设置，减少了传统传动机构带来的偏差影响，本方案有效的保障并提高了运动可重复性。

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