超逼真20张动图秒懂四大年夜电镜事理（SEM, TEM, AFM, STM）

扫描电子显微镜（SEM）

扫描电镜成像是利用细聚焦高能电子束在样件表面引发各种物理旗子暗记，如二次电子、背散射电子等，通过相应的检测器来检测这些旗子暗记，旗子暗记的强度与样品表面描述有一定的对应关系，因此，可将其转换为视频旗子暗记来调制显像管的亮度得到样品表面描述的图像。

SEM事情图

入射电子与样品中原子的价电子发生非弹性散射浸染而丢失的那部分能量（30～50eV）引发核外电子分开原子，能量大于材料逸出功的价电子从样品表面逸出成为真空中的自由电子，此即二次电子。

电子发射图

二次电子探测图

二次电子试样表面状态非常敏感，能有效显示试样表面的微不雅观描述，分辨率可达5～10nm。

二次电子扫描成像

入射电子达到离核很近的地方被反射，没有能量丢失；既包括与原子核浸染而形成的弹性背散射电子，又包括与样品核外电子浸染而形成的非弹性背散射电子。

背散射电子探测图

用背反射旗子暗记进行描述剖析时，其分辨率远比二次电子低。
可根据背散射电子像的亮暗程度，判别出相应区域的原子序数的相对大小，由此可对金属及其合金的显微组织进行身分剖析。

EBSD成像过程

透射电子显微镜（TEM）

透射电镜是把经加速和聚焦的电子束投射到非常薄的样件上，电子与样品中的原子碰撞，而改变方向，从而产生立体角散射。
散射角的大小与样品的密度、厚度干系，因此，可以形成明暗不同的影像，影像将在放大、聚焦后在成像器件上显示出来。

TEM事情图

TEM成像过程

STEM成像不同于平行电子束的TEM，它是利用聚拢的电子束在样品上扫描来完成的，与SEM不同之处在于探测器置于试样下方，探测器吸收透射电子束流或弹性散射电子束流，经放大后在荧光屏上显示出明场像和暗场像。

STEM剖析图

入射电子束照射试样表面发生弹性散射，一部分电子所丢失能量值是样品中某个元素的特色值，由此得到能量丢失谱（EELS），利用EELS可以对薄试样微区元素组成、化学键及电子构造等进行剖析。

EELS事理图

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