芯片有了“增城造”！增芯启动投产高端制造“突围”

这是海内首条12英寸智能传感器晶圆制造产线项目。
该项目位于增城经济技能开拓区核心区，一期投资70亿元，将培植月加工能力达2万片的12英寸MEMS制造生产线。

仅用时18个月，增芯项目创下了广东大体量项目培植的“芯”速率。
增城第一家芯片制造企业，具备了从质料加工到产品交付全过程的生产能力。

芯片实现“增城造”，将为海内智能传感器及干系家当供应高质量发展支撑，更将助力“广东强芯”工程。

一颗“增城芯”的出身

一片空缺的晶圆，由事情职员缓缓放入增芯机台设备中。
经由繁芜的工序，“001”序列号被刻在了晶圆片上。
首个进入制造产线的晶圆，由此得到了“出生证明”。

在增芯项目主厂房，包括光刻机、干法刻蚀机等在内的晶圆加工设备以及各种检测和测试设备有序摆放，全体操作车间六根清净，事情职员身穿清洁服进行操作。

芯片制造类似乐高盖屋子：先用晶圆作为地基，再利用光刻机绘制“建房”的构造图，然后用刻蚀机沿线把该“挖”的“挖掉”，末了利用注入机“浇注”。
如此反复地筑平台、划线、挖槽、注入，从而逐层将芯片垒起。

“增芯可以在增城生产第一批芯片产品了！
”现场，增芯总经理张亮难掩激动。
他先容，芯片完全的制造流程涉及气相外延、氧化、PVD/CVD、光刻、刻蚀、离子注入等步骤，分别对应不同设备。

当天举行的投产启动仪式，意味着项目已建立起制造系统，全体生产流程能够连贯地运作。
后续，增芯将通过产品良率提升和产能爬坡，加快产品交付事情。

随着工业互联网、大数据、物联网等新一代信息技能的快速发展，前辈智能传感器芯片大有可为。

面向粤港澳大湾区这一环球传感器最大的运用市场，增芯专注于MEMS（微机电系统）、前辈仿照／稠浊旗子暗记等特色芯片制造技能领域。
“增芯采纳差异化竞争策略，专注于高附加值的MEMS传感器及特色细分产品市场段。
”张亮表示。

项目一期产能估量于2025年底达到2万片／月；一期工艺技能采取MEMS力学传感器和130-55纳米成熟制程。

“我们主攻的12英寸55nm-90nm工艺产品，具有性能功耗平衡、高集成度、本钱效益和成熟度稳定等技能特点，在多个运用领域具备广泛适应性，市场份额稳定。
”张亮先容，这些特性使得“增芯出品”有望在半导体市场取得独特的地位。

未来，增芯的产品将紧张运用于新能源智能汽车、超高清视频显示、高端装备、5G、人工智能、工业互联网等领域，极大知足大湾区在干系上风家当领域对半导体及集成电路的弘大需求，提升家当链供应链稳定性和安全性。

东部中央，“芯芯”向荣

作为广州东部中央“当代活力核”的主要承载区，增城加快构建以“芯显车”为主导的当代化家当体系，并在“芯”家当不断打破，智能传感器百口当链雏形初步形成。

在广州集成电路“一核两极多点”中，增城扮演着重要角色，紧张聚焦智能传感器和芯片制造领域。
在链主企业增芯的牵引之下，增城已引进落户越海、广东微技能工研院、中微广州、智达星空等一批能级高、带动力强的骨干项目。

为推动百口当链条完全集聚，增城同步打造广东省首个获批的智能传感器特色家当园，形成包括增城经济技能开拓区核心区组团、电子材料组团、科教城组团、公铁联运组团4个组团，以制造为核心的“一核一圈四组团”空间布局。

当前，增城的集成电路和半导体家当链，已覆盖生产制造端、装备制造端、创新平年夜驾、封装测试端、材料供应端、芯片设计端、终端运用端。
估量到2035年，增城将形成千亿级智能传感器家当集群。

“从2022年12月项目动工，到2023年9月主体构造封顶，一共用了9个月零6天，再到2023年12月完成首台设备搬入，2024年6月进入投产阶段，最大感想熏染便是‘快’。
”张亮表示，这既是增芯速率，也是“增城速率”。

以增芯项目为缩影，增城正全力以赴优化营商环境——

供应优质、便捷、高效的“全生命周期做事”，大力支持增芯等重点项目培植，做好全链条要素保障，保障项目顺利投产；增城海关加快聪慧海关培植，将口岸查验指令调度为由目的地海关到厂实行，合营企业生产流程第一韶光到厂考验，做到随到随检，一次开箱、一次验放；积极制订出台和推动各项扶持政策落实，加快集成电路及智能传感器家当发展，为造就壮大当代化家当体系供应坚实支撑。

如今，放眼广州东部中央，一批规模大、能级高、带动力强的骨干项目相继布局落子。

芯芯相连，“芯芯”向荣。
百口当链条加速集聚，将为广东打造国家集成电路家当发展“第三极”供应有力支撑。

编辑：方子昭

责编：顾舒徐