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三星申请半导体器件专利填充绝缘图案分别设置在字线和栅栏图案之间

编辑:[db:作者] 时间:2024-08-25 01:53:41

专利择要显示,一种半导体器件包括:有源图案,设置在基板上并分别包括中央部分;位线,在有源图案的中央部分上在第一方向上延伸;字线,在与第一方向交叉的第二方向上与有源图案交叉;栅栏图案,在字线上设置在彼此相邻的位线之间;打仗沟槽区,在与第一方向和第二方向交叉的第三方向上与有源图案和字线交叉;以及位线打仗和添补绝缘图案,在打仗沟槽区中在第三方向上交替支配。

三星申请半导体器件专利填充绝缘图案分别设置在字线和栅栏图案之间

第一方向至第三方向平行于基板的底表面。
添补绝缘图案分别设置在字线和栅栏图案之间。

本文源自金融界

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