谁才是中国半导体设备第一公司？（附90+设备厂商名录）

2月15日，中国半导体行业协会就美日荷限定向华出口前辈芯片制造设备发布严肃声明，反对这一毁坏家当生态的行为，并号召家当界武断信心、积极应变。
在声明刺激下，A股半导体设备指数当日午后加速上涨，报收1.92%。
今年以来半导体设备指数累计涨幅已靠近17%。

事实上，2022年半导体行业集体衰退，外洋芯片巨子古迹纷纭暴雷的情形下，海内半导体设备厂商普遍向好、逆势增长，这在当前场合排场下无疑给半导体设备国产化注入信心。

据电巢理解，中国半导体设备厂商近两年正在高速发展，国产替代浪潮下多个细分领域设备国产化率持续上升，个中去胶设备的国产率已达90%以上。

本文，我们将从中国大陆半导体设备企业的2022年纪迹及专利情形、各细分领域国产化率、当下的机遇和寻衅等方面梳理海内半导体设备企业的真实成绩与差距。

01 2022年半导体设备成绩亮眼，国产替代进入快车道2022年海内半导体设备企业逆势增长

截至2023年2月1日，近100家半导体家当干系公司发布了2022年纪迹预报，个中半数以上企业实现了净利润同比增长，且多为设备和材料类的半导体上市公司。
增速大于100%的公司中就有拓荆科技、芯源微、华海清科、长川科技、北方华创等多家半导体设备公司。

据悉，已公布的12家半导体设备公司2022年纪迹预报均实现正增长。
以增长下限打算，增长超1倍的有6家，9家增长下限均超30%。
最为亮眼的拓荆科技古迹预报显示，估量公司2022年年度实现归属于母公司所有者的净利润与上年同期比较增长381.85%至484.06%。

拓荆科技在公告中表示，古迹较上年同期大幅增长的紧张缘故原由是受益于海内半导体行业良好的发展态势，海内半导体行业设备需求增加，该公司加大了产品研发投入，产品构造不断优化，产品竞争力持续增强，进一步拓展客户群体，本年发卖订单大幅增加，业务收入坚持高增长趋势。

据理解，截至2022Q3末，11家半导体设备企业存货和条约负债分别达到133和284亿元，分别同比增长69%和76%，达到历史最高点，验证在手订单饱满。
考虑到已有订单取消概率不大，随着干系订单陆续交付，2022Q4和2023年行业古迹高增长有较强确定性。

2022年海内半导体设备企业专利概况

专利实力每每是企业技能创新水准与市场话语权的主要表示，海内半导体设备企业对其核心技能进行全面的专利布局，能够在该领域霸占更有利的竞争地位。

以下为2022年中国大陆半导体设备企业专利榜单：

以上统计数据截至2022年9月30日，来源IncoPat专利数据库，原表由爱集微整理

从榜单中可以看出，北方华创、上海微电子和中科院光电所技能创新上风明显，位列前三位。
作为半导体设备行业龙头，它们也是当前设备领域国产替代的主力军。
北方华创一贯致力于生产薄膜沉积、刻蚀两种核心工艺设备。
上海微电子以光刻设备研发为核心，其专利布局紧张集中于光刻机、工件台、丈量装置、投影物镜、预对准等专业技能领域。

技能创新在半导体家当国产化进程中相称关键。

目前，家当链高下游企业都在考试测验攻关半导体核心设备，如上海微电子、中微半导体、北方华创等在考试测验打破一些高端设备，个中北方华创刻蚀设备已运用于7纳米和5纳米生产线；中微半导体刻蚀机已经达到5nm水平，并运用于台积电产线。
但前辈设备研发难度很高，海内厂商仍任重道远。

02 半导体设备国产化现状半导体设备分类及环球市场格局

根据SIA数据统计，环球半导体设备大致可以分为11大类，50多种机型。
前道设备用于晶圆制造过程，覆盖从光片到晶圆的成百上千道工序，紧张有光刻机、刻蚀机、薄膜沉积机、离子注入机、CMP设备、洗濯机、前道检测设备和氧化退火设备八大类，前道设备霸占了全体市场的80%～85%，个中光刻机、刻蚀机和薄膜设备是代价量最大的三大环节，各自所占的市场规模均达到了前道设备总量的20%以上；后道设备紧张分为测试设备和封装设备。

目前，环球前5大半导体设备厂商均属于前道设备的运用厂商，分别为运用材料、ASML、东京电子、泛林半导体、柯磊，个中3家平台型横跨刻蚀，薄膜，洗濯，离子注入等多个领域。
排名前10的厂商中5家日本公司，4家美国公司，1家荷兰公司，寡头格局明显。

2021年环球半导体设备市场格局，来源：华安证券

半导体设备国产化剖析

2021年海内半导体设备市场规模同比增长58.23%，以296.2亿美元发卖金额保持环球半导体设备第一大市场，估量2023年中国大陆半导体市场规模将达3032亿元，增长势头强劲。

中国半导体市场规模（亿美元）来源：华安证券

根据SEMI数据显示，2022年中国晶圆厂商半导体设备国产化率较2021年明显提升，从21%提升至35%。
国产半导体设备公司经由多年的技能攻关以及国家政策支持，目前能知足下贱晶圆厂商大部分成熟制程（28nm及以上的逻辑芯片等）以及少部分前辈制程的需求。

目前在28nm及以上的逻辑芯片、128层以下的NAND存储芯片以及20nm以上的DRAM芯片的紧张设备中，国产设备在刻蚀、薄膜沉积、洗濯、涂胶显影等大部分都可以进行替代。
特殊是检测设备替代速率较快。
去胶设备国产采取率已达91%

只管海内半导体设备基本摆脱完备受制于人的局势，但海内设备厂商目前仍旧只是“点”的打破，尚未实现“面”的遍及，缺少成套设备的供应，设备的精度也不足，只能知足中低端芯片的生产，难以打入高端芯片生产线。

尤其是光刻机等“卡脖子”的关键设备研发尚未有明显进展，上海微电子是我国唯一可量产光刻机的企业，其90nm DUV光刻机在2016年已经通过验收，但45nm、28nm光刻机仍在研发过程中尚未量产，亟待打破。

结 语

从上文的各项数据来看，环球半导体设备市场险些被美日荷所垄断，核心设备如光刻、刻蚀、PVD、CVD、氧化/扩散等设备的Top3市占率普遍在90%以上。
除技能差距及美国的限定外，海内涵投资、人才、市场竞争等方面都面临极大寻衅。

不过好的一点是，中国半导体设备市场规模扩大持续提速，近五年行业规模复合增速高达35%。
随着下贱晶圆厂订单和验证效率的提升，估量2022～2025将是半导体国产设备的放量期，高增速有望延续，这对半导体设备国产化进程而言势必是有利的。
同时，封锁之下的国产设备企业势必也会迎来更快速的发展。

以下为中国半导体设备领域的国产替代企业名录：

精选报告来源：银创智库

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