高质量成长调研行｜十年磨一“片” 石家庄高新技能企业普兴电子打破半导体技能难题

——看石家庄高新技能企业普兴电子如何打破半导体技能难题

近日，河北普兴电子科技株式会社事情职员正在装取碳化硅外延片。
河北日报通讯员 张晓峰摄

走进石家庄市鹿泉区河北普兴电子科技株式会社，面前的碳化硅外延片，犹如透明的CD唱片，满满的科技范儿。
它的浸染可不容小觑，如果把制造芯片比作盖屋子，这便是屋子的框架。

如今，普兴电子的碳化硅外延片产量，位居全国前列。
很难想象，就在20多年前，这家企业连擦设备的布都要依赖入口。

2006年，在海内率先量产6英寸硅外延片；

2010年，在海内率先量产8英寸硅外延片；

2014年，自主研发出第一套国产外延炉；

2020年，在海内率先量产6英寸碳化硅外延片；

…………

10多年坚持不懈，普兴电子用事实印证——

关键核心技能是要不来、买不来、讨不来的，唯一出路便是专一苦干，自主创新。

一次自主研发的启迪——

“创新便是九去世生平，保持定力才能占领难关”

韶光转回到2005年。
那一年，5英寸硅外延片市场正火，有货就不愁卖。

不缺市场的普兴电子，却斥巨资从国外入口了一台生产6英寸产品的新单片炉设备。
当时，企业一年的发卖收入只有四五千万元。

一韶光，质疑声四起：“卖得好好的，为啥给自己找难题？”“这么贵，收得回本钱吗？”

公司总经理陈秉克态度武断，由于他深知：“没有核心技能，就永久拿不抵家当话语权。
”

那时，海内6英寸硅外延片的技能瓶颈还未打破，生产技能没有履历可循，只能摸着石头过河。

科研职员专一苦干几个月，第一批产品终于出来了。
然而，就在大家满心欢畅庆祝的时候，问题来了。

“明明出厂检测合格，可到了用户那里，就会涌现探测不到的毛病。
”副总经理袁肇耿回顾起来仍旧感到酸心。

最严重的一次，发了5000片货，退回来2500片。
一气之下，他们把这些不合格产品砸碎，报废处理。

横在普兴电子面前的，是一道道技能难题，如同一座座大山挡住了提高的道路。

那段日子，让陈秉克终生难忘。
最难的时候，企业年底利润是负数，贰心有不甘：“必须搞出自己的技能！
”

自打那时候起，实验室的灯就没熄过。
十四五位科研职员，心里都憋着一口气，大家轮流倒班，发起技能攻关。

问题出在哪儿？衬底抛光去除量不足、工艺过程参数设置不准确、损伤层去除不屈均、反应腔处理条件不合理……大家一个个查找，一个个办理。

一次又一次，光做试验的硅外延片，就报废了一万多片。
“都是钱啊，一片片砸进去，一点响都听不到。
”大家心里没底。

这项技能在海内属于空缺，没有人知道要投入多少，也没有人知道要坚持多久。

但没有一个人气馁。

考试测验，失落败；再考试测验，再失落败……摸索了一年韶光，终于找到新的检测方法，毛病率掌握住了。

2006年，普兴电子终于通过自主研发，在全国率先批量生产出性能稳定的6英寸硅外延片。

核心技能带来了源源不断的订单。
“最火的时候，客户带着现金住在厂里等着提货。
”袁肇耿笑着说。

“创新便是九去世生平。
保持定力，才能占领一个个技能难关。
”回望那段经历，袁肇耿深有感触。

一次年夜胆突围的发展——

“设备依赖外国，家当发展就会受制于人”

清洁厂房的操作区内，8英寸硅外延片正在外延炉里悄悄成长。
显示屏上灯光闪烁，技能职员负责不雅观察各项技能参数运行情形。

“这套设备，是我们自主研发的。
”普兴电子生产部副部长许斌武话语里满是自满。

2012年，订单直线攀升，普兴电子准备扩大产能。
然而，兴冲冲地去国外买设备的事情职员却被绊住了，谈了3个多月都没谈下来。

“卖给我们的是淘汰设备，价格却比前辈型号高，还提出先付钱、不担保交付期等不合理条件。
”许斌武说。

“设备依赖外国，家当发展就会受制于人。
”普兴电子下定决心：“自己研发！
”

可是，自主研发设备，谈何随意马虎？这是一个弘大的系统，集机、电、打算机、自动化掌握等技能为一体，所涉知识密集、学科浩瀚，硬件、软件哀求高。

高精度的旋转系统，一度成为“拦路虎”。
“旋转平稳度差之毫厘，硅片从片篮传送到反应室就会发生偏移，生产出的产品就报废了。
”袁肇耿说。

光这一个小环节，研发职员就用了近半年韶光反复试验。
终极，请来编程专家一点点调度参数，终于实现精准稳定旋转。

就这样，一项项工艺反复调度，一个个部件精雕细琢，样机终于在两年后成功问世，实现了国产设备的打破。

没想到，本钱低落了一半，但推广却遭遇难题。
有人疑惑，不会是样子货吧？也有人对国产设备不信赖，说还是用入口的靠谱。

信赖，不是说出来的，而是做出来的。
他们免费供应样片，做可靠性验证，努力供应比入口品牌更诚挚的做事。

两年往后，袁肇耿明显感到用户对国产设备态度的转变——“从不信赖到乐意考试测验了”。

“研发的过程，也让我们对设备有了更深刻的理解，便于更好地改进生产工艺。
”袁肇耿说，比如改进感应线圈构造，能使生产效率提高15%；改进进气装置，赌气场同等性提高10%。

一种创新攻坚的决心——

“不能总是跟跑，要奋力实现并跑、领跑”

来到青山环抱中的普兴电子新外延材料家当基地，一座座高大的白色当代化厂房拔地而起。

“全部达产后，整体产能将扩大三倍，年产值达到30多亿元。
”袁肇耿介绍。

如今，普兴电子已发展为国家级专精特新“小巨人”企业，也是河北省第一批县域特色家当集群“领跑者”企业。

这些年来，从第一代到第三代半导体材料，一批批实现“零的打破”的科研成果从这里源源走出。
在海内率先稳定量产8英寸硅外延片；率先研制出碳化硅外延片……硅外延及碳化硅外延产品海内市场霸占率超25%以上。

不只冲要破技能、设备，普兴电子还要“打造”国家标准。
目前，该企业正参与制订碳化硅毛病检测方法等三项国家标准。

不创新弗成，创新慢了也弗成。
袁肇耿总有一种紧迫感：“半导体材料领域，不能总是跟跑，要奋力实现并跑、领跑！
”

普兴电子一贯在奔跑，每年投入大量资金进行新技能研发，目前正加快研发第四代半导体材料，未来将运用在5G通信、高速轨道交通等领域。

不怕失落败，艰巨磨砺。
普兴电子10多年来的发展进程，标记出高新技能企业勇攀高峰、不断占领前沿技能的光鲜足印。
（河北日报 周洁 张晓超）

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