收藏 | 真空应用设备检漏方法

图1表示氦质谱检漏仪的事理图，在质谱室的离子源N内，气体被电离成离子。
在电场浸染下离子聚焦成束，并以一定的速率经由缝隙S1进入磁剖析器，在均匀磁场的浸染下，具有一定速率的离子束，将按圆形轨迹运动。
调节加速电压U使氦离子束M2恰能通过缝隙S2到达网络极K而形成离子流。

利用弱电流量测设备，使之在输出仪表与音响装置上反响出来。
而其他不同于M2的离子束（如图中M1，M3）则以不同的偏转半径而被分开。

图1 检漏仪事理图

二、喷吹法检漏

1. 喷吹法检漏的事理

喷吹法检漏是利用赞助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，然后在被检产品外表面喷吹氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，检漏仪会报警并显示当前漏率值。

2.喷吹法检漏的优缺陷

优点：①检测灵敏度高

②定位准确

③对大容器或繁芜构造产品的检漏可靠性高

缺陷：①漏率检测只能在一个大气压差内

②不能准确反响带压被检产品的真实泄露状态

三、真空检漏的详细方法

为了方便解释真空检漏方法，我们以真空炉为例进行真空检漏。
真空炉紧张由机器泵、罗茨泵、扩散泵、前级管路、炉体等几部分组成，如图2所示。
真空炉的生产中最为常见问题是极限压力合格，而升压率不合格，或者是两者都不合格，比较少见的是升压率合格但极限压力不合格。

图2真空炉示意图

1. 极限压力合格，升压率不合格

极限压力合格解释设备没有明显漏点，且真空系统的抽气性能正常。
升压率不合格，紧张缘故原由是从粗抽阀到炉体有一些较小的漏点，常日在110-9~9.910-4Pam3/s之间。
检漏步骤为：

①用力按压气袋从粗抽阀开始向炉体方向喷吹氦气，第一遍针头移动的速率可以快些，对设备的全部焊口、法兰连接、动密封、热电偶连接等处进行全面检漏，在焊口不规整及法兰连接缝隙不屈均处将喷吹移动速率放缓并进行细致检讨。

②不按压气袋，用针头缓慢地对可疑位置进行检讨，漏孔会吸入针头中存有的少量氦气，不雅观测检漏仪屏幕漏率值喷吹过程中的变革，找到漏率最大且上升最快的点即是漏点。

③向各个加热电极、炉体水套等通水腔体内喷吹氦气检讨泄露情形。
若检漏多遍后升压率仍不合格，可以用塑料布、胶带对可疑的焊口、法兰连接处、热电偶、电极等处进行包裹罩封，然后向罩中喷入氦气，不雅观察检漏仪的漏率变革，如果缓慢上升，解释被包裹的位置存在漏点。

2. 极限压力不合格，升压率合格

这种情形缘故原由常日涌如今粗抽阀到机器泵部分的各个连接管路的焊口及法兰连接或真空泵本身性能。
检漏步骤为：

①检讨机器泵与罗茨泵连接的波纹管法兰，很随意马虎由于波纹管法兰胶圈没压好或波纹管焊口破坏造成漏气，由于机器泵运转的振动较大，法兰螺栓随意马虎松动，波纹管焊口永劫光受振动也会导致裂纹造成漏气。

②检讨压差阀或放气阀进气口及机器泵、罗茨泵、扩散泵的外壳是否漏气。
放气阀的电源被忘接或阀的磁感应线圈被烧坏导致阀无法正常关闭也会导致漏气。

③若步骤①和②均未检出漏点，就要考虑各个真空泵性能的问题，紧张检讨机器泵油、罗茨泵油是否短缺，如果泵油短缺会大大降落泵的抽气性能，其次检讨机器泵的阀片，通过向机器泵排气口喷吹氦气来检测其阀片的密封性。
扩散泵油或扩散泵加热器非常也会造成极限压力不合格。
还应检讨真空计是否准确以及真空系统设计是否知足技能哀求。

3. 极限压力、升压率都不合格

这种情形常日存在大于即是9.910-4 Pam3/s的较大漏点，检漏步骤为：

①用内径0.5mm旁边的针头从机器泵到炉体快速的喷吹一遍，会很快创造漏点，这时创造的漏点都较大，然后应立即焊接处理或用封泥封堵，一旦封堵成功，真空度和检漏仪灵敏度会明显提高。

②第二遍检漏，进行第二遍检漏时速率要较第一遍慢些，重点检讨表面不规整的焊口、法兰接缝处、动密封处、热电偶密封、电极、线圈、水套、各种胶圈处等部位。
详细步骤与极限压力不合格、升压率合格的检漏方法相同。

综上三种问题，通过外部检漏常日都会办理，但在多遍检漏后问题若是仍旧存在，我们就该当考虑是否存在内部漏点。
笔者创造，内漏大多来源于各种充气阀。
若要验证，可以在阀门保持关闭的状态下，将阀门的保护气体一端法兰打开一缝隙，充入氦气检讨是否漏气，若不漏气，再将阀门连接好后立即充入保护气体到管路中，如果这时检漏仪漏率值上升，那么就可以确定充气阀泄露是真空指标不合格的缘故原由。

原文揭橥于《真空》杂志2019年第1期，本文有所删减。