PVD镀膜设备的运用步骤

2、开坚持泵对扩散泵抽低真空，并丈量前级真空度。

3、待前级压力达到5100后，开扩散泵加热。

4、开充气阀，对镀膜室充气，打开镀膜室门，装好洗濯干净的工件，关好炉门。

5、待扩散泵正常事情一小时后，开机器泵开预抽阀，对真空室手抽真空至1103，然后开罗茨泵。

6、当压力达到3100后，关预抽阀，开前级阀。
开高真阀，对镀膜室抽高真空。

7、当真空室压力达到810-3（详细压力值根据工艺哀求而定）后开工件旋转，并开加热至设定值。

8、开始镀膜操作程序。

9、镀膜操作程序结束。

10、降炉温至100℃以下，打开充气阀开炉门取出工件，每一炉利用之前对炉内进行清洁。

——文本由真空镀膜设备厂家广东振华科技发布。