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专利择要显示,本申请公开了一种功率器件及其制备方法、功率模块、功率转换电路及车辆,属于半导体技能领域。功率器件包括第一掺杂衬底层一壁设有漏极层;第一掺杂外延层设于第一掺杂衬底层背离漏极层一壁;第二掺杂基区层设于第一掺杂外延层背离第一掺杂衬底层一壁;第一掺杂层设于第二掺杂基区层背离第一掺杂外延层一壁;源极层设于第一掺杂层背离第二掺杂基区层一壁;栅极沟槽设置于两个第二掺杂区间,栅极沟槽和第二掺杂区从第一掺杂层靠近源极层表面起始,延伸至第一掺杂外延层,栅极沟槽底部设有第一沟槽,第一沟槽与栅极沟槽连通,第一沟槽沿栅极沟槽底部周向设置,栅极沟槽的底部、侧壁以及第一沟槽内设有栅氧构造;栅极位于栅氧构造限定的容纳空间。
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