星宇电子申请一种真空岛专利结构紧凑且运行稳定
编辑：[db:作者] 时间：2024-08-25 05:20:33
专利择要显示，本发明公开了一种构造紧凑、运行稳定的真空岛，包括：多少个真空发生器，多少个真空发生器沿第一方向 A 层叠的设置；所述真空发生器包括汇流阀单元以及连接在汇流阀单元上的真空发生单元、以及掌握阀单元；所述汇流阀单元设置有汇入口、与汇入口连通的最高级道、以及第二流道；所述真空发生单元设置有真空排气流道、以及真空毁坏流道，所述真空排气流道具有进气端、吸气端、以及排气端，所述真空毁坏流道与第二流道连通设置；所述掌握阀单元用于掌握真空发生单元的真空产生流道的导通或者关闭、或者掌握汇流阀单元上真空毁坏流道的导通或者关闭；本发明涉及真空器材技能领域。
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