浙江泓芯半导体取得用于半导体器件制程设备中的石英舟专利能够形成多个不合规格的晶圆放置空间

专利择要显示，本发明公开了用于半导体器件制程设备中的石英舟，包括支撑构造、一对调节装置和多根槽棒，一对调节装置固定连接于支撑构造两侧，多个槽棒传动连接于一对调节装置；调节装置包括固定连接的限位组件一和限位组件二，限位组件一与支撑构造固定连接；限位组件一包括内弧和外弧，内弧和外弧之间形成有下部滑动轨道；限位组件二包括内环和外环，外环与外弧固定连接，外环和内环间固定连接有多个分道块，使得内环和外环之间形成多个上部滑动轨道，内环和内弧上均滑动连接多个止动组件；槽棒端部贯穿对应的下部滑动轨道或上部滑动轨道，以使得槽棒沿下部滑动轨道或上部滑动轨道移动，止动组件跟随槽棒移动，对槽棒抵接，以此形成多个不同规格的晶圆放置空间。

本文源自金融界