三德科技取得坩埚自动清洗方法及装配专利实现高度自动化的清洗过程

专利择要显示，本发明公开了一种坩埚自动洗濯方法，包括：S01、自动取样盘传送带上的样盘；S02、将样盘进行翻转以打消残渣；S03、对样盘进行高压气体洗濯；S04、洗濯完成。
本发明还公开了一种坩埚自动洗濯装置，包括平移组件、翻转组件、夹紧组件、抽气排尘组件和洗濯组件，夹紧组件安装在翻转组件上，翻转组件安装在平移组件上，夹紧组件包括托板、滤灰网和第一驱动件，托板用于在平移组件的平移下将样盘铲起，并与托板合营以夹紧样盘；翻转组件用于对夹紧组件内的样盘进行翻转，抽气排尘组件用于对样盘进行抽气排尘作业；洗濯组件用于对抽气排尘作业后的样盘进行高压气体吹扫作业。

本文源自金融界